恭喜武汉大学佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇获国家专利权
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龙图腾网恭喜武汉大学申请的专利一种负温度传感器、制备方法以及检测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118111582B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410209440.1,技术领域涉及:G01K11/22;该发明授权一种负温度传感器、制备方法以及检测装置是由佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇;曾晓梅;杨兵;许畅;曾仲;黄家辉设计研发完成,并于2024-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种负温度传感器、制备方法以及检测装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种负温度传感器、制备方法以及检测装置,所述传感器由下至上依次包括基材、传感层、结合层和电极层;其中,所述电极层的材料包括导电金属、高熵合金、高熵合金氮化物中的一种。本发明的传感器适用于液体、气体类的待测介质。本发明采用的电极材料为高熵合金,高熵合金具备热力学上的高熵效应、动力学上的迟缓扩散效应,相比常规的三元、四元氮化物、氧化物涂层,更具抗高温、耐氧化特性。此外,基于高熵合金的多元素特性,相比于传统银电极而言,极大提高了传感器的声波传输性能,超声信号、压电常数。
本发明授权一种负温度传感器、制备方法以及检测装置在权利要求书中公布了:1.一种负温度传感器,其特征在于,由下至上依次包括基材、传感层、结合层和电极层;其中,所述电极层的材料为高熵合金;所述高熵合金包括AlCrNbSiTiTaY、AlCrNbSiTi、AlHfNbSiTaTiZr中的一种;所述电极层采用磁控溅射法在氩气氛围中制备得到,具体参数包括,射频功率600~900W,气体压强1.55~1.95Pa,沉积温度30~90℃,沉积时间20~120min,靶基距离60~90mm;磁控溅射制备电极层时,最初始的1.0~1.5min,在带有传感层和结合层的基材以及靶材间施加偏置电压;其中,偏置电压30~49V,电流1.0~2.5A,占空比40%~60%。
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