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龙图腾网恭喜苏州铼铂机电科技有限公司申请的专利压力可测量可控制调节的半导体材料研磨加工夹具及加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117381659B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311323851.5，技术领域涉及：B24B37/30；该发明授权压力可测量可控制调节的半导体材料研磨加工夹具及加工方法是由谢华伟设计研发完成，并于2023-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本压力可测量可控制调节的半导体材料研磨加工夹具及加工方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种压力可测量可控制调节的半导体材料研磨加工夹具，包括夹具外支架、夹具套筒、吸附头和夹具内轴，夹具外支架与夹具套筒固定连接，吸附头与夹具内轴的下端固定连接，吸附头设置于夹具外支架内，夹具内轴设置在夹具套筒内，夹具套筒上螺纹配合有压力粗调钮，压力粗调钮上连接有上基板，上基板通过拉压力传感器纵向连接有电机，电机驱动夹具内轴相对夹具套筒纵向移动，压力粗调钮转动时驱动上基板、拉压力传感器、电机、丝杆螺母运动副以及夹具内轴共同纵向移动，拉压力传感器用于测量纵向拉压力。本发明通过压力粗调钮调节压力范围，电机实时微调达到设定压力，实现研磨过程中压力的高精度测量及控制。

本发明授权压力可测量可控制调节的半导体材料研磨加工夹具及加工方法在权利要求书中公布了：1.一种压力可测量可控制调节的半导体材料研磨加工夹具，其特征在于，包括夹具外支架、夹具套筒、吸附头、夹具内轴和控制器，所述夹具外支架与所述夹具套筒固定连接，所述吸附头与所述夹具内轴的下端固定连接，所述吸附头设置于所述夹具外支架内，所述夹具内轴设置在所述夹具套筒内，所述夹具套筒上螺纹配合有压力粗调钮，所述压力粗调钮上连接有上基板，所述上基板的下方通过拉压力传感器纵向连接有电机，所述电机通过丝杆螺母运动副与夹具内轴的上端连接，所述电机驱动所述夹具内轴相对所述夹具套筒纵向移动，所述压力粗调钮转动时驱动所述上基板、所述拉压力传感器、所述电机、所述丝杆螺母运动副以及所述夹具内轴共同纵向移动，所述拉压力传感器用于测量纵向拉压力，所述夹具外支架的顶面设有距离测量装置，所述距离测量装置用于测量所述吸附头的纵向移动距离，所述控制器分别与所述拉压力传感器、所述电机以及所述距离测量装置电连接；对半导体材料研磨加工时将晶圆吸附于所述吸附头的下端面并将所述半导体材料研磨加工夹具置于磨抛盘，先调整压力粗调钮使晶圆所受压力Fw与所需加工压力偏差不超过100g，再由控制器控制电机动作使Fw达到所需加工压力，其中Fw=W-F2，其中W为所述电机、所述夹具套筒、所述吸附头和所述晶圆依次连接构成的整体重量，所述F2为所述拉压力传感器测得的拉力，在磨抛过程中根据所述拉压力传感器测得的拉力变化和所述距离测量装置测得的所述吸附头的纵向移动距离控制所述电机动作使所述Fw稳定在所需加工压力。

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