恭喜深圳市原速光电科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市原速光电科技有限公司申请的专利基片架及镀膜设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116254522B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310095047.X,技术领域涉及:C23C16/458;该发明授权基片架及镀膜设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2023-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本基片架及镀膜设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基片架及镀膜设备,其中基片架包括支撑架及载样组件,载样组件包括支撑板、柔性层及限位件,柔性层覆盖于支撑板的一侧表面,柔性层远离支撑板的一侧形成载样面;限位件连接于支撑板和或柔性层,限位件用于抵接于基片的边缘以使基片压紧于载样面。由于柔性层具有一定的弹性,即使基片存在边角翘曲、外形收缩、热变形等情况,导致基片的实际尺寸和形状可能与理论尺寸和形状存在差异,和或载样组件的部件存在尺寸、形状和安装误差,柔性层也能够紧密地覆盖基片无需镀膜的背侧,从而有效降低工艺气体渗入基片背侧导致极片背侧沉积薄膜的可能性,提高成品率,降低生产成本。
本发明授权基片架及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.基片架,用于安装基片,其特征在于,所述基片架包括:支撑架;载样组件,安装于所述支撑架,所述载样组件包括支撑板、柔性层及限位件,所述柔性层覆盖于所述支撑板的一侧表面,所述柔性层远离所述支撑板的一侧形成载样面;所述限位件连接于所述支撑板和或所述柔性层,所述限位件用于抵接于所述基片的边缘以使所述基片压紧于所述载样面。
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