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龙图腾网恭喜苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司申请的专利一种高精度对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115360108B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211140112.8，技术领域涉及：H01L21/60；该发明授权一种高精度对准方法是由吴志海;尚明伟;王敕设计研发完成，并于2022-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高精度对准方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高精度对准方法，包括以下步骤：S1、拾取头拾取芯片，翻转180度；S2、焊头从拾取头上吸取芯片；S3、焊头随第一下视视觉设备、第二下视视觉设备移动至校准片上方，焊头水平运动，避让校准片；S4、识别上视视觉的视觉中心与下视视觉的视觉中心的相对误差；S5、芯片上标记点与第一下视视觉设备视觉中心的相对误差；S6、识别基板上标记点与第一下视视觉设备视觉中心的相对误差；S7、计算得到芯片上标记点与基板上标记点的间距；S8、进行位置补偿；S9、高精度键合。本发明相较于现有技术，利用高精度位置传感器配合多个视觉检测设备实现芯片的位置校准，有效提高键合精度。

本发明授权一种高精度对准方法在权利要求书中公布了：1.一种高精度对准方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、第一视觉检测组件识别芯片1的外形轮廓，拾取头移动至所述芯片1上方，向下拾取所述芯片1，上升后将所述芯片1翻转180度；S2、焊头2从拾取头上吸取所述芯片1，所述芯片1上标记点B1、标记点B2方向朝下；S3、所述焊头2随第一下视视觉设备、第二下视视觉设备移动至校准片3上方，所述焊头2水平运动，避让所述校准片3；S4、所述校准片3上设置有标记点A1、A2，第一下视视觉设备识别标记点A1，第二下视视觉设备识别标记点A2，所述校准片3下方设置有第一上视视觉设备、第二上视视觉设备，第一上视视觉设备识别标记点A1，第二上视视觉设备识别标记点A2，得到第一下视视觉设备的视觉中心和第一上视视觉设备的视觉中心相对误差以及第二下视视觉设备的视觉中心与第二下视视觉设备的视觉中心对误差此时第二下视视觉设备上的高精度位置传感器5记录所述焊头2的第一位置数据，所述第一位置数据包括所述焊头2的XYZ方向的位置；S5、所述校准片3水平移动进行避让，同时焊头2水平移动，使得所述芯片1移动至第一上视视觉设备、第二上视视觉设备上方，第一上视视觉设备识别标记点B1，第二上视视觉设备标识别标记点B2，得到标记点B1与第一上视视觉设备视觉中心的相对误差δB1以及标记点B2与第二上视视觉设备视觉中心的相对误差δB2，从而计算得到标记点B1与第一下视视觉设备视觉中心的相对误差A1B1以及标记点B2与第二下视视觉设备视觉中心的相对误差A2B2；S6、所述焊头2随第一下视视觉设备、第二下视视觉设备移动至基板4上方，之后所述焊头2水平运动，进行让位，第一下视视觉设备识别所述基板4上的标记点C1，第二下视视觉设备识别所述基板4上的标记点C2，得到标记点C1与第一下视视觉设备视觉中心的相对误差以及标记点C2与第二下视视觉设备视觉中心的相对误差S7、所述焊头2移动至所述基板4上方，此时第二下视视觉设备上的高精度位置传感器5记录所述焊头2的第二位置数据，根据相对误差A1B1和相对误差计算标记点B1与标记点C1的间距B1C1，根据相对误差A2B2和相对误差计算标记点B2与标记点C2的间距B2C2；S8、所述焊头2根据计算出的间距B1C1和间距B2C2，进行XY运动，实现位置补偿；S9、所述芯片1对准所述基板4后，所述焊头2沿Z轴下降，将所述芯片1和所述基板4的键合；在所述步骤S7中，在计算间距B1C1和间距B2C2之前，先根据所述第一位置数据和所述第二位置数据计算所述焊头2的位置偏移量，所述焊头2根据所述位置偏移量进行高度补偿和XY位置补偿。

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