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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于权值分配的共焦测量系统及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115307574B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211087003.4，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权基于权值分配的共焦测量系统及测量方法是由杨永强;王廷煜;王之一;王建立;糜小涛;杨禹凯;全胜;姚凯男;刘昌华设计研发完成，并于2022-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于权值分配的共焦测量系统及测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于权值分配的共焦测量系统及测量方法，共焦测量系统通过位置测量单元中的差动共焦测量组件进行位置距离的测量；通过在差动共焦光路的基础上，加入角度测量单元进而构建测角光路，实现对测量位置的同时进行倾斜角度的测量。本发明所提供的技术方案解决了现有技术中差动共焦显微测距的同时不能测倾斜角度的问题。光学系统的光路简单易于实现。角度测量组件分光测角光路结构简单，成本低。实现了在差动共焦测距的同时，获取待测位置倾斜角度信息，在光学形貌测量，尤其在对微小表面缺陷识别中精度更高。

本发明授权基于权值分配的共焦测量系统及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于权值分配的共焦测量系统，其特征在于，包括位置测量单元、角度测量单元；其中，所述位置测量单元包括沿光路依次设置的第一分束镜、第一聚焦透镜、第二分束镜、差动共焦测量组件；所述角度测量单元包括沿光路依次设置的多面体棱镜、角度测量组件；激光光束入射至所述第一分束镜，经所述第一分束镜透射至所述第一聚焦透镜进行聚焦，聚焦后的光束入射至待测物，经待测物表面反射后穿过所述第一聚焦透镜后，入射至所述第一分束镜，经所述第一分束镜反射至所述第二分束镜进行分光，一部分光束被反射作为角度测量光束入射至所述多面体棱镜，所述多面体棱镜将入射的角度测量光束进行分束后入射至所述角度测量组件，所述角度测量组件根据入射光束的强度的权值分布获取待测物表面待测点的角度信息，另一部分被透射作为位置测量光束入射至所述差动共焦测量组件进行位置测量，通过所述差动共焦测量组件获取待测物表面待测点的位置信息，并结合所述角度信息同时获取待测物的面型信息和表面倾角信息；所述多面体棱镜为四面体棱镜，且所述四面体棱镜的三个侧面镀有反射膜；所述角度测量组件为沿光路依次设置的聚焦透镜组、针孔组、光电探测器组；所述聚焦透镜组包括第二聚焦透镜、第三聚焦透镜、第四聚焦透镜；所述针孔组包括第一针孔、第二针孔、第三针孔；所述光电探测器组包括第一光电探测器、第二光电探测器、第三光电探测器；经所述四面体棱镜各个侧面反射的角度测量光束分别入射至所述第二聚焦透镜、所述第三聚焦透镜和所述第四聚焦透镜，经相应的聚焦透镜聚光后，分别穿过所述第一针孔、所述第二针孔、所述第三针孔，分别入射至所述第一光电探测器、所述第二光电探测器和所述第三光电探测器。

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