恭喜武汉天马微电子有限公司李红翠获国家专利权
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龙图腾网恭喜武汉天马微电子有限公司申请的专利测试件排布结构及测试基板获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114823407B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210360696.3，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权测试件排布结构及测试基板是由李红翠;雷志宏;张梦兰设计研发完成，并于2022-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本测试件排布结构及测试基板在说明书摘要公布了：本申请公开一种测试件排布结构及测试基板。测试件排布结构包括：多个测试组，每个所述测试组包括至少一个测试件，各所述测试组内所述测试件的数量相同，多个所述测试组绕一虚拟标记点设置，所述测试件具有图案化结构，每个所述测试组至少有一个所述图案化结构相同的所述测试件，各所述测试组内的所述相同的图案化结构至所述虚拟标记点的距离相同。利用蒸镀设备进行蒸镀进而得到的上述各图案化结构的膜层厚度较为一致，提高了各测试组的相同的图案化结构的蒸镀膜层厚度均一性，一定程度上改善了各测试组内测试件的蒸镀膜层厚度不均匀的现象。测试件具有了足够的膜层精度，因此能够保证使用测试件进行测试时可以得到更为准确的测试结果。
本发明授权测试件排布结构及测试基板在权利要求书中公布了：1.一种测试件排布结构，其特征在于，包括：多个测试组，每个所述测试组包括至少一个测试件，各所述测试组内所述测试件的数量相同，多个所述测试组绕一虚拟标记点设置，所述测试件具有图案化结构，每个所述测试组至少有一个所述图案化结构相同的所述测试件，各所述测试组内的所述相同的图案化结构至所述虚拟标记点的距离相同。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉天马微电子有限公司，其通讯地址为：430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园横路8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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