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龙图腾网恭喜中国科学院大连化学物理研究所申请的专利一种易于维护的极紫外光源液滴锡靶供应装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114675500B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210190920.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种易于维护的极紫外光源液滴锡靶供应装置是由焦志润;马宇鑫设计研发完成，并于2022-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种易于维护的极紫外光源液滴锡靶供应装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种易于维护的极紫外光源液滴锡靶供应装置。本发明包括阀体和设置于所述阀体内的声学产生及传播装置，阀体的两端分别设有第一端盖板和第二端盖板，所述声学产生及传播装置的输出端连接靶材腔室，所述第一端盖板上设有与该腔室相连的小孔，所述阀体的外部可拆卸地套接有温度调节装置，所述第二端盖板上连接有能够伸入阀体的加压管路，所述加压管路用于向靶材腔室加压，得到连续的锡喷射流，所述温度调节装置用于为阀体加热温度，所述声学产生及传播装置用于将连续的锡喷射流变为稳定的锡液滴流，所述声学产生及传播装置配套有用于为其制冷温的主动制冷装置。本发明在阀体的后期维护上，更加方便，可以大大缩短生产过程中的维护时间。

本发明授权一种易于维护的极紫外光源液滴锡靶供应装置在权利要求书中公布了：1.一种易于维护的极紫外光源液滴锡靶供应装置，其特征在于，包括阀体和设置于所述阀体内的声学产生及传播装置，所述阀体的两端分别设有第一端盖板和第二端盖板，所述声学产生及传播装置的输出端连接靶材腔室，所述第一端盖板上设有与该腔室相连的小孔，所述阀体的外部可拆卸地套接有温度调节装置，所述第二端盖板上连接有能够伸入阀体的加压管路，所述加压管路用于向靶材腔室加压，得到连续的锡喷射流，所述温度调节装置用于为阀体加热温度，所述声学产生及传播装置用于将连续的锡喷射流变为稳定的锡液滴流，所述声学产生及传播装置配套有用于为其制冷温的主动制冷装置；所述声学产生及传播装置的输出端为声学传送杆，其与靶材腔室内的液体靶材直接接触，声学传送杆包括夹层与传送杆主体，所述声学传送杆用于将产生的声学振动传到小孔附近的靶材处，从而驱动锡滴产生装置产生稳定的锡滴；所述声学产生及传播装置包括压电陶瓷以及声学传送杆，所述压电陶瓷的输出端与所述声学传送杆相连，压电陶瓷盖板与声学传送杆尾部之间放置有柔性垫片，第二端盖板将压电陶瓷压紧，并且之间加缓冲件进行声音隔断，形成的锡液滴靶的大小、间距、频率基于调节压电陶瓷的激励信号来进行调节。

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