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龙图腾网恭喜中美矽晶制品股份有限公司申请的专利硅氧化物的制备装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115364510B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210125140.6，技术领域涉及：B01D7/02；该发明授权硅氧化物的制备装置是由杨瑜民;林煌伟;许松林设计研发完成，并于2022-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅氧化物的制备装置在说明书摘要公布了：一种硅氧化物的制备装置，包括一加热炉、一加热装置、一坩埚、一沉积盒、至少一个排气管道及一抽气装置，所述坩埚及所述沉积盒设置于所述加热炉中，所述加热装置对所述坩埚加热使置于所述坩埚中的固态原料形成一气态硅氧化物，所述沉积盒具有至少一个入气口及一出气口，所述沉积盒内部设置至少一个吸附件；所述至少一个排气管道的第一端设置邻近于所述坩埚的上开口的位置，所述至少一个排气管道的第二端与所述沉积盒的至少一个入气口连通；所述抽气装置与所述沉积盒的出气口连通以将所述气态硅氧化物抽离所述坩埚并使所述气态硅氧化物与所述至少一个吸附件的表面接触以沉积一固态的硅氧化物。

本发明授权硅氧化物的制备装置在权利要求书中公布了：1.一种硅氧化物的制备装置，包含：一加热炉，内部具有由一隔热材料围设形成的一加热区；一加热装置，设置于所述加热区中；一坩埚，设置于所述加热区中，用以容置一固态原料，所述固态原料包括二氧化硅及硅，所述坩埚具有一上开口；一沉积盒，设置于所述加热区与所述加热炉的内炉壁之间，所述沉积盒具有至少一个入气口及一出气口，所述沉积盒包含至少一个吸附件并设置于所述沉积盒的内部空间中，所述至少一个吸附件的表面材质包含碳；至少一个排气管道，具有一第一端及一第二端，所述第一端设置于邻近所述坩埚的所述上开口的位置，所述第二端与所述沉积盒的所述至少一个入气口连通；以及一抽气装置，与所述沉积盒的所述出气口连通；其中，所述至少一个吸附件与所述至少一个入气口间相隔一距离，所述距离为3～13cm；其中，所述至少一个吸附件具有一长轴向，所述长轴向的延伸线通过所述至少一个入气口；其中，所述至少一个吸附件的数量为多个，所述多个吸附件中的一个具有所述长轴向，与所述入气口距离越接近的所述多个吸附件中的吸附件的长度须相对与所述入气口距离越远的所述多个吸附件中的吸附件的长度短。

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