恭喜华邦电子股份有限公司张皓筌获国家专利权
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龙图腾网恭喜华邦电子股份有限公司申请的专利半导体存储器结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115223995B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110422428.5,技术领域涉及:H01L23/538;该发明授权半导体存储器结构是由张皓筌;杨峻昇设计研发完成,并于2021-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体存储器结构在说明书摘要公布了:一种半导体存储器结构,包含半导体基板、设置于半导体基板上的位线、以及设置于位线一侧的电容接触件。电容接触件包含设置于半导体基板上的半导体插塞、设置于半导体插塞上的金属插塞、沿着金属插塞的侧壁和底部延伸的金属硅化物衬层、以及设置于金属硅化物衬层上的氮化物层。金属硅化物衬层的顶表面低于金属插塞的顶表面。氮化物层围绕金属插塞的顶部。
本发明授权半导体存储器结构在权利要求书中公布了:1.一种半导体存储器结构,其特征在于,包括:一半导体基板;一位线,设置于该半导体基板上;以及一电容接触件,设置于该位线的一侧,其中该电容接触件包括:一半导体插塞,设置于半导体基板上;一金属插塞,设置于该半导体插塞上;一金属硅化物衬层,沿着该金属插塞的侧壁和底部延伸,其中该金属硅化物衬层的顶表面低于该金属插塞的顶表面;以及一氮化物层,设置于该金属硅化物衬层上,且该氮化物层围绕该金属插塞的顶部。
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