恭喜ICT半导体集成电路测试有限公司D·温克勒获国家专利权
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龙图腾网恭喜ICT半导体集成电路测试有限公司申请的专利操作带电粒子枪的方法、用于带电粒子束装置的带电粒子枪和带电粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115280458B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180011956.X，技术领域涉及：H01J37/073；该发明授权操作带电粒子枪的方法、用于带电粒子束装置的带电粒子枪和带电粒子束装置是由D·温克勒设计研发完成，并于2021-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本操作带电粒子枪的方法、用于带电粒子束装置的带电粒子枪和带电粒子束装置在说明书摘要公布了：描述一种操作带电粒子枪102的方法。所述方法包括：在所述带电粒子枪内设置处于第一发射极电位的发射极122，并且在所述带电粒子枪内设置处于第一电极电位的捕获电极142，其中所述第一发射极电位和所述第一电极电位被设置以在所述发射极处且在所述捕获电极处具有基本为零的电场；将所述捕获电极从所述第一电极电位切换至与所述第一电极电位不同的第二电极电位，以在所述捕获电极处生成静电捕获场；以及在将所述捕获电极从所述第一电极电位切换至所述第二电极电位之后，开启所述发射极处的静电发射场。
本发明授权操作带电粒子枪的方法、用于带电粒子束装置的带电粒子枪和带电粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种操作带电粒子枪102的方法，包括：在所述带电粒子枪内设置处于第一发射极电位的发射极122，并且在所述带电粒子枪102内设置处于第一电极电位的捕获电极142，其中在所述发射极的尖端处提供所述第一发射极电位，其中所述第一发射极电位和所述第一电极电位被设置以在所述发射极处和在所述捕获电极处具有基本为零的电场；施加电压以将所述捕获电极从所述第一电极电位切换至与所述第一电极电位不同的第二电极电位，以在所述捕获电极处生成静电捕获场，在开启所述发射极之前吸附污染粒子；以及在将所述捕获电极从所述第一电极电位切换至所述第二电极电位之后，开启所述发射极处的静电发射场。
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