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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利使用磷酸水溶液的蚀刻处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111430273B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010248647.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权使用磷酸水溶液的蚀刻处理装置是由佐藤秀明;佐藤尊三设计研发完成，并于2016-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本使用磷酸水溶液的蚀刻处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种使用磷酸水溶液的蚀刻处理装置。该蚀刻处理装置具有：处理槽，其用于利用加热磷酸水溶液而得到的蚀刻液对基板进行蚀刻处理；处理液供给部，其向所述处理槽供给磷酸水溶液；处理液循环部，其使所述处理槽的内部的蚀刻液循环；处理液排出部，其使所述蚀刻液排出；以及控制部，其对所述处理液供给部、所述处理液循环部以及所述处理液排出部进行控制，其中，所述控制部利用所述处理液循环部使蚀刻液循环，使蚀刻液从所述处理液排出部排出，并且从所述处理液供给部向所述处理槽供给磷酸水溶液，所述控制部还使用蚀刻液中的硅浓度信息进行控制，以使浸渍了基板的蚀刻液的硅浓度成为规定浓度范围。

本发明授权使用磷酸水溶液的蚀刻处理装置在权利要求书中公布了：1.一种使用磷酸水溶液的蚀刻处理装置，其特征在于，具有：处理槽，其用于利用加热磷酸水溶液而得到的蚀刻液对基板进行蚀刻处理；处理液供给部，其向所述处理槽供给磷酸水溶液；处理液循环部，其使所述处理槽的内部的蚀刻液循环；处理液排出部，其使所述蚀刻液排出；以及控制部，其对所述处理液供给部、所述处理液循环部以及所述处理液排出部进行控制，其中，所述控制部利用所述处理液循环部使蚀刻液循环，使蚀刻液从所述处理液排出部排出，并且从所述处理液供给部向所述处理槽供给磷酸水溶液，预先调查所述基板的蚀刻时间、所述蚀刻处理中的蚀刻液的排出量、新的磷酸水溶液的供给量以及蚀刻液中的硅浓度之间的关系，所述控制部通过在所述基板的蚀刻处理中排出规定量的蚀刻液并且新供给规定量的磷酸水溶液来使浸渍了所述基板的蚀刻液的硅浓度成为规定浓度范围，所述控制部还使用在规定的定时测量的蚀刻液中的硅浓度信息进行控制，以使浸渍了基板的蚀刻液的硅浓度成为规定浓度范围。

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