恭喜杭州众硅电子科技有限公司盛思杰获国家专利权
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龙图腾网恭喜杭州众硅电子科技有限公司申请的专利一种用于电化学机械平坦化设备的电抛光头、导电系统及其装配方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119685914B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510187787.5,技术领域涉及:C25F7/00;该发明授权一种用于电化学机械平坦化设备的电抛光头、导电系统及其装配方法是由盛思杰;蔡宁远;朱自强设计研发完成,并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于电化学机械平坦化设备的电抛光头、导电系统及其装配方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于电化学机械平坦化设备的电抛光头、导电系统及其装配方法,电抛光头包括导电件,穿设于抛光头承载件,用于连接外部供电单元;导电柱,穿设于抛光头或抛光头承载件,至少包括外壳,伸缩件,及导电探针,导电探针和外壳分别与伸缩件连接,以使得导电探针与外壳可沿轴向相对滑动,并且导电探针外壁与外壳内壁接触且导电,使得导电探针与外壳之间形成滑动接触式导电;导电柱连接单元,设于抛光头,与导电柱可拆卸连接。本发明在有限密闭空间中,采用一种滑动接触形式的导电装置,紧密连接两个相邻部件的导电结构,使电能高效地在相邻部件传输。
本发明授权一种用于电化学机械平坦化设备的电抛光头、导电系统及其装配方法在权利要求书中公布了:1.一种用于电化学机械平坦化设备的电抛光头,其特征在于:包括,导电件5,穿设于抛光头承载件11,用于连接外部供电单元6;导电柱3,穿设于抛光头1或抛光头承载件11,至少包括外壳31,伸缩件32,及导电探针33,所述导电探针33和外壳31分别与伸缩件32连接,以使得导电探针33与外壳31可沿轴向相对滑动,并且导电探针33外壁与外壳31内壁接触且导电,使得导电探针33与外壳31之间形成滑动接触式导电;所述导电探针33头部设置有导电件连接件2,该导电件连接件2形成限位凹槽21,所述导电探针33端部形成可与限位凹槽21限位配合的端头331;所述导电柱3端部设有螺纹段34,其与导电柱连接单元4螺纹连接,以增加接触面积传递电能;导电柱连接单元4,设于抛光头1,与所述导电柱3可拆卸连接;所述导电柱连接单元4包括与抛光头1相配合的导电结构件41,柔性电缆42,及导电柱连接件43,所述导电柱连接件43与导电柱3可拆卸连接,所述柔性电缆42分别电连接导电结构件41和抛光头1内的导电盘12;所述柔性电缆42的数量为一个或两个及以上;所述抛光头1形成有腔体14,所述柔性电缆42弯曲容纳于该腔体14,以给导电盘12和抛光头1的装配连接提供了伸缩空间。
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