恭喜山东大学李阳获国家专利权
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龙图腾网恭喜山东大学申请的专利一种两步法制备的镓酸锌薄膜及制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119615360B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510152255.8，技术领域涉及：C30B25/18；该发明授权一种两步法制备的镓酸锌薄膜及制备方法和应用是由李阳;徐梦凡;展茜茜;穆文祥;贾志泰设计研发完成，并于2025-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种两步法制备的镓酸锌薄膜及制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种两步法制备的镓酸锌薄膜及制备方法和应用，属于半导体材料技术领域。本发明提供了一种两步法制备镓酸锌薄膜的方法包括以下步骤：对C面蓝宝石衬底进行预处理，去除表面杂质和水分，得到预处理蓝宝石衬底；将乙酰丙酮镓溶液和乙酰丙酮锌溶液混合后，加入盐酸，搅拌至完全溶解后，静置后获得上层清液；在常压条件下，以惰性气体为载流气体，将上层清液进行超声雾化处理后输送到预处理蓝宝石衬底表面，在500℃~550℃下沉积形成成核层，然后升温至600℃~650℃沉积形成外延膜，得到单晶尖晶石镓酸锌薄膜。本发明通过两步法制备得到了更高质量的镓酸锌薄膜。
本发明授权一种两步法制备的镓酸锌薄膜及制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种两步法制备镓酸锌薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：对C面蓝宝石衬底进行预处理，去除表面杂质和水分，得到预处理蓝宝石衬底；将乙酰丙酮镓溶液和乙酰丙酮锌溶液混合后，加入盐酸，搅拌至完全溶解后，静置后获得上层清液；在常压条件下，以惰性气体为载流气体，将上层清液进行超声雾化处理后输送到预处理蓝宝石衬底表面，在500℃～550℃下沉积0.5h形成成核层，然后升温至600℃～650℃沉积1h形成外延膜，得到单晶尖晶石镓酸锌薄膜。
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