恭喜光本位科技(苏州)有限公司李左玺获国家专利权
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龙图腾网恭喜光本位科技(苏州)有限公司申请的专利一种光波导器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119493216B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510084088.8,技术领域涉及:G02B6/12;该发明授权一种光波导器件及其制备方法是由李左玺;蒲华楠;程唐盛设计研发完成,并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光波导器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光波导制备技术领域,具体涉及一种光波导器件及其制备方法,其中,光波导器件包括:第一结构层,第一结构层设置有光波导,光波导的正面上设置有材料层;与第一结构层的第一表面连接设置的第二结构层,以及与第二结构层相连接的衬底层;第二结构层和衬底层上依次设置有对应于光波导的第一、第二开槽,第一开槽的侧壁上形成有第一引导部,光波导的背面上形成有具有第一厚度的第二引导部,第一、第二引导部相连接以形成背面生长平台,背面生长平台的剖面呈类梯形结构;背面生长平台上设置有相变材料层,相变材料层的第三外表面还形成有保护层。本发明所提出的背面生长方式能够减小对光波导正面上的材料层的影响。
本发明授权一种光波导器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种光波导器件,其特征在于,包括:第一结构层(07),所述第一结构层(07)的第一表面上形成有第一凹陷区,且所述第一凹陷区内设置有光波导(01),所述光波导(01)的正面上设置有至少一层材料层(08);与所述第一结构层(07)的第一表面连接设置的第二结构层(05),以及与所述第二结构层(05)相连接的衬底层(06);其中,所述第二结构层(05)和所述衬底层(06)上依次设置有对应于所述光波导(01)的第一开槽(I)、第二开槽(II),且所述第一开槽和所述第二开槽形成狭长通道,且所述狭长通道的深度大于宽度;所述第一开槽的侧壁上形成有第一引导部(031),所述光波导(01)的背面上形成有具有第一厚度的第二引导部(032),其中,所述第一引导部的第一外表面呈斜面设置,以使得所述第一外表面所在的平面,与所述第二引导部的第二外表面之间形成有夹角α,所述夹角α的角度范围为80°-90°;对应地,所述第一外表面与所述第二外表面相连接以形成背面生长平台,所述背面生长平台的剖面呈类梯形结构;所述背面生长平台上设置有相变材料层(02),所述相变材料层(02)的第三外表面还形成有保护层(04)。
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