株洲三一硅能技术有限公司石鹏飞获国家专利权
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龙图腾网获悉株洲三一硅能技术有限公司申请的专利真空镀膜设备及其载板顶升机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222878069U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420998995.4，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型真空镀膜设备及其载板顶升机构是由石鹏飞设计研发完成，并于2024-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空镀膜设备及其载板顶升机构在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种真空镀膜设备及其载板顶升机构，其中，真空镀膜设备的载板顶升机构包括：容纳结构，容纳结构具有底壁和侧壁，并形成腔体，底壁上设置有安装孔；举升平台，设置在腔体内；传动轴和驱动机构，传动轴穿过安装孔，传动轴的第一端与驱动机构连接，传动轴的第二端与举升平台连接，驱动机构通过传动轴驱动举升平台升降；磁流体密封结构，设置在安装孔处，并套设在传动轴外。述结构中，设备底部不必再设置举升架、滑轨等机构，传动轴能够直接穿过安装孔与举升平台连接，减小了载板顶升机构的占用体积和成本。因此本实用新型的技术方案解决了现有技术中的真空镀膜设备的举升机构占用空间大，成本较高的缺陷。
本实用新型真空镀膜设备及其载板顶升机构在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜设备的载板顶升机构，其特征在于，包括：容纳结构10，所述容纳结构10具有底壁11和侧壁12，并形成腔体20，所述底壁11上设置有安装孔13；举升平台30，设置在所述腔体20内；传动轴40和驱动机构50，所述传动轴40穿过所述安装孔13，所述传动轴40的第一端与所述驱动机构50连接，所述传动轴40的第二端与所述举升平台30连接，所述驱动机构50通过所述传动轴40驱动所述举升平台30升降；磁流体密封结构60，设置在所述安装孔13处，并套设在所述传动轴40外。
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