安徽格楠机械有限公司赵亮获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽格楠机械有限公司申请的专利一种半导体硅片研磨废液过滤设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222871579U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420615600.8,技术领域涉及:B01D36/02;该实用新型一种半导体硅片研磨废液过滤设备是由赵亮;曾庆华;万明;赵慧设计研发完成,并于2024-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体硅片研磨废液过滤设备在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体硅片加工技术领域,公开了一种半导体硅片研磨废液过滤设备,包括处理箱,其特征在于,所述的处理箱设置在底架上,在处理箱上下两端均设置有轴承,在处理箱顶部设置有承载架,在承载架上设置有初滤结构、驱动结构,并将初滤结构与处理箱连通,所述的处理箱内设置搅动结构、排液结构,并将搅动结构、排液结构均与驱动结构连接。本实用新型将使用后的半导体硅片研磨废液输送到初滤箱中,初滤箱对研磨废液中的大颗粒杂质进行过滤处理,既能对研磨废液多次过滤处理,也可以降低一次过滤处理的难度,提高研磨废液的过滤效果,便于研磨液的回收利用。
本实用新型一种半导体硅片研磨废液过滤设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体硅片研磨废液过滤设备,包括处理箱,其特征在于,所述的处理箱设置在底架上,在处理箱上下两端均设置有轴承,在处理箱顶部设置有承载架,在承载架上设置有初滤结构、驱动结构,并将初滤结构与处理箱连通,所述的处理箱内设置搅动结构、排液结构,并将搅动结构、排液结构均与驱动结构连接。
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