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龙图腾网恭喜扬州思普尔科技有限公司申请的专利一种自动上料的半导体晶圆全自动高效去胶装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116364578B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211531213.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种自动上料的半导体晶圆全自动高效去胶装置是由刘芳军;张桂阳;杨志勇设计研发完成，并于2022-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自动上料的半导体晶圆全自动高效去胶装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种自动上料的半导体晶圆全自动高效去胶装置，包括底部基板、存储单元、移送单元和多个去胶单元，所述底部基板包括多个安装位，多个安装位呈环形等间距分布，其中一个安装位安装所述存储单元，其余的安装位均安装所述去胶单元；所述移送单元能够将任何一个去胶单元内的晶圆移动至所述存储单元内，或者将存储单元内的晶圆移送至任何一个去胶单元内。本申请的去胶装置集成了多个去胶单元，并且具有高效的移送效率，从而整体上提高去胶装置的去胶效率。

本发明授权一种自动上料的半导体晶圆全自动高效去胶装置在权利要求书中公布了：1.一种自动上料的半导体晶圆全自动高效去胶装置，其特征在于，包括底部基板、存储单元、移送单元和多个去胶单元，所述底部基板包括多个安装位，多个安装位呈环形等间距分布，其中一个安装位安装所述存储单元，其余的安装位均安装所述去胶单元；所述移送单元能够将任何一个去胶单元内的晶圆移动至所述存储单元内，或者将存储单元内的晶圆移送至任何一个去胶单元内；所述去胶单元为真空等离子去胶单元，所述去胶单元包括具有进出口的机箱以及安装于机箱处且能够封闭所述进出口的机箱电动门，所述机箱内安装有用于承载晶圆的机箱承载台；所述存储单元包括存储箱、位于存储箱内的承载架以及用于驱动所述承载架在所述存储箱内上下移动的驱动单元，所述承载架从上到下呈一列分布有多个用于承载晶圆的存储承载台；所述存储箱具有第一开口和第二开口；所述第一开口处具有能够将第一开口封闭的第一电动门，所述第二开口处具有能够将第二开口封闭的第二电动门；所述存储箱呈长方体形，包括面对移送单元的面板、远离移送单元的背板、顶板、底板以及两个侧板，所述第一开口位于所述面板处，所述第二开口位于其中一个侧板处；所述驱动单元包括安装于顶板处的升降电机、安装于底板处的丝杆轴承、安装在顶板和底板之间的竖直导杆以及连接在升降电机和丝杆轴承之间的丝杆，所述承载架包括与所述丝杆配合的螺纹通道以及与所述竖直导杆配合的竖直限位通道；所述移送单元包括安装于底部基板的转动单元、安装于转动单元的第一升降单元、安装于第一升降单元顶端的安装座、安装于安装座处的伸缩单元以及安装于伸缩单元处的取料单元；所述去胶装置还包括待机单元，所述待机单元包括安装于底部基板处的旋转电机、安装于旋转电机处的驱动齿轮、安装于底部基板处且能够在所述底部基板处旋转的第一环形板以及通过多个第二升降单元与第一环形板连接的第二环形板；所述底部基板处具有环形滑槽，所述第一环形板处具有与环形滑槽配合的环形滑轨；所述第二环形板处具有多个待机位，所述待机位的数量与所述去胶单元的数量相等；所述待机位具有固定于第二环形板处的第一承载座以及通过连接架与第二环形板固定连接的第二承载座，所述第二承载座的水平高度高于第一承载座的水平高度，所述连接架包括与第二承载座连接的第一水平杆、与第一水平杆连接的第一竖直杆、与第一竖直杆顶端连接的第二水平杆以及连接第二水平杆和第二环形板的第二竖杆；所述待机单元能够处于初始待机状态，当待机单元处于所述初始待机状态时，多个待机位和多个去胶单元一一对应，每个待机位面对一个所述去胶单元，且对于每个待机位，连接架相对于第一承载座更靠近所述存储单元。

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