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恭喜中国科学院上海光学精密机械研究所刘晓凤获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利皮秒激光光学元件的全角度真空激光损伤阈值测试装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115127781B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210730152.1,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权皮秒激光光学元件的全角度真空激光损伤阈值测试装置及方法是由刘晓凤;赵元安;柯立公;李大伟;徐光;朱翔宇;徐子媛;连亚飞;朱美萍;邵建达设计研发完成,并于2022-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。

皮秒激光光学元件的全角度真空激光损伤阈值测试装置及方法在说明书摘要公布了:一种皮秒激光光学元件的全角度真空激光损伤阈值测试装置及方法,包括光学元件固定系统,损伤用皮秒激光系统,皮秒激光损伤监测系统和激光防护模块;该装置中与真空环境相关的在线CCD成像系统和待测光学元件放置角度固定,将需要调节的部分限制在调节自由度比较大的空气环境,通过利用旋转和上下移动的偏振片方便地实现了真空环境中皮秒激光光学元件的全角度激光损伤测试,避免了涉及真空环境调节不便的问题。该方法在测试区域内采用光斑叠合测试方法,并结合多脉冲辐照考察损伤的稳定性,能够准确评估光学元件在皮秒激光应用下可安全承受的能量密度。

本发明授权皮秒激光光学元件的全角度真空激光损伤阈值测试装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种皮秒激光光学元件的全角度真空激光损伤阈值测试装置,其特征在于,包括:光学元件固定系统,损伤用皮秒激光系统,皮秒激光损伤监测系统和激光防护模块;所述光学元件固定系统,包括圆形真空腔体124、位于该圆形真空腔体124内的光学元件固定装置以及控制该光学元件位置的二维调整机构,所述光学元件固定装置用于固定待测光学元件123,使所述待测光学元件123的法线方向与水平方向顺时针成45°;在所述圆形真空腔体124上分别设有与待测光学元件123法线夹角成70°、63°、45°、23°的70°入射光管道115、63°衍射光管道116、45°入射光管道119、45°反射光管道126、23°入射光管道122、23°透射光管道128;所述损伤用皮秒激光系统,包括皮秒激光器101、能量调节器102、快门103、半波片104、偏振片106、第一45°反射镜113、第二聚焦透镜114、第三聚焦透镜118、第二45°反射镜120和第四聚焦透镜121;所述皮秒激光损伤监测系统,包括计算机112、第一单面增透膜105、第二单面增透膜108、能量计110、第一聚焦透镜109、位于该第一聚焦透镜109焦点位置的光束质量分析仪111以及位于所述待测光学元件123的法线方向且与所述圆形真空腔体124相连的在线CCD成像系统125,所述计算机112分别与所述能量调节器102、快门103、能量计110、光束质量分析仪111、偏振片106、在线CCD成像系统125和光学元件固定装置相连;所述激光防护模块,包括第一吸收池107、第二吸收池117、第三吸收池127、第四吸收池129;分别放置于偏振片106的透射光方向以及63°衍射光管道116、45°反射光管道126、23°透射光管道128的出口位置;所述皮秒激光器101输出的激光依次经过能量调节器102、快门103和半波片104后,入射到所述第一单面增透膜105,经该第一单面增透膜105透射的透射光入射到所述偏振片106,该偏振片106由计算机112控制,实现上下移动或角度旋转;当所述偏振片106的法线方向与入射激光逆时针夹角成-57.5°时,经该偏振片106反射的第一发射光依次经所述第一45°反射镜113、第二聚焦透镜114和70°入射光管道115辐照所述待测光学元件123表面,经该待测光学元件123衍射的衍射光通过所述63°衍射光管道116由第二吸收池117吸收;当所述偏振片106的法线方向与入射激光夹顺时针角成56°时,经该偏振片106反射的第二发射光依次经所述第二45°反射镜120、第四聚焦透镜121和23°入射光管道122辐照所述待测光学元件123表面,经该待测光学元件123透射的透射光通过所述23°透射光管道128由第四吸收池129吸收;当所述偏振片106移出光路时,经所述第一单面增透膜105透射的透射光依次经所述第三聚焦透镜118和45°入射光管道119辐照所述待测光学元件123表面,经该待测光学元件123反射的反射光通过45°反射光管道126由第三吸收池127吸收;经所述第一单面增透膜105反射的反射光入射到所述第二单面增透膜108,经该第二单面增透膜108透射的透射光入射到所述能量计110,经该第二单面增透膜108反射的发射光,经所述第一聚焦透镜109聚焦后,入射到光束质量分析仪111上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所,其通讯地址为:201800 上海市嘉定区清河路390号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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