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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种安全互锁电路及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222896667U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421483710.X，技术领域涉及：H01J37/18；该实用新型一种安全互锁电路及半导体工艺设备是由刘爱旭;王达;林子涵;梁汉伟;胡彩丰设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种安全互锁电路及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种安全互锁电路及半导体工艺设备，安全互锁电路包括供气阀控制回路和供电控制回路；供气阀控制回路中，第一控制器件电连接于电源，第二控制器件电连接于电动控制阀以控制供气管路的通断；供电控制回路中，互锁输入端用于输入工艺压力信号，第一互锁输出端用于输出第一工艺信号以控制第一控制器件的开合，第三工艺输入端用于输入工艺压力信号，第一工艺输入端用于输入第一工艺信号，第一工艺输出端用于输出第二工艺信号以控制第二控制器件的开合。该半导体工艺设备包括该安全互锁电路。如此设置，可以双向安全互锁，从根源切断危险源，提升工艺气体互锁控制的可靠性。

本实用新型一种安全互锁电路及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种安全互锁电路，其特征在于，包括：供气阀控制回路100和供电控制回路200；所述供气阀控制回路100包括串联电连接的第一控制器件110和第二控制器件120，所述第一控制器件110电连接于电源150，所述第二控制器件120电连接于电动控制阀160，所述电动控制阀160被配置为：用于控制供气管路300的通断，所述供气管路300用于向工艺腔室通入工艺气体；所述供电控制回路200包括：压力传感器210、互锁控制器220和工艺控制器230；所述压力传感器210用于感测工艺压力；所述互锁控制器220具有互锁输入端223和第一互锁输出端221，所述互锁输入端223连接于所述压力传感器210，用于输入工艺压力信号；所述第一互锁输出端221用于输出第一工艺信号，所述第一互锁输出端221连接于所述第一控制器件110，用于控制所述第一控制器件110的开合；所述工艺控制器230具有第一工艺输入端231和或第三工艺输入端233；所述第三工艺输入端233连接于压力传感器210，用于输入所述工艺压力信号；所述第一工艺输入端231连接于所述第一互锁输出端221，用于输入所述第一工艺信号；所述工艺控制器230具有第一工艺输出端235，用于输出第二工艺信号，所述第一工艺输出端235连接于所述第二控制器件120，用于控制所述第二控制器件120的开合。

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