天津中科晶禾电子科技有限责任公司郭超获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利一种晶圆载台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222896681U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421475503.X,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种晶圆载台是由郭超;母凤文;谭向虎;刘福超设计研发完成,并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆载台在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体材料加工设备技术领域,尤其涉及一种晶圆载台。一种晶圆载台,用于承载晶圆,包括:作为底部的第一部分,作为侧壁的第二部分及作为顶部的第三部分;所述第一部分、第二部分和第三部分围合形成中空的封闭空间;所述封闭空间内循环有冷却介质;所述封闭空间内设有扰流部,所述扰流部用于改变所述冷却介质的流动路径。本实用新型的目的在于提供一种晶圆载台,该晶圆载台承载晶圆进行如键合、镀膜、刻蚀等工艺时能够均匀的冷却晶圆,提升良品率。
本实用新型一种晶圆载台在权利要求书中公布了:1.一种晶圆载台,用于承载晶圆,其特征在于,包括:作为底部的第一部分,作为侧壁的第二部分及作为顶部的第三部分;所述第一部分、第二部分和第三部分围合形成中空的封闭空间;所述封闭空间内循环有冷却介质;所述封闭空间内设有扰流部,所述扰流部用于改变所述冷却介质的流动路径。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天津中科晶禾电子科技有限责任公司,其通讯地址为:300451 天津市滨海新区滨海高新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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