杭州富博精密机械有限公司雷世友获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富博精密机械有限公司申请的专利一种磁控溅射设备密封结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222893234U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421442133.X，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射设备密封结构是由雷世友;任财设计研发完成，并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射设备密封结构在说明书摘要公布了：本申请涉及一种磁控溅射设备密封结构，包括支撑腿、密封箱以及密封门，密封门侧壁开设有安装槽，安装槽内设置有密封圈，密封门上固定有L形板，密封箱内顶壁固定有安装板，安装板侧壁转动连接有转轴，转轴一端固定有锁紧盘，锁紧盘上开设有供L形板穿过的安装口，锁紧盘的厚度从安装口一侧沿安装口周向逐渐增大到安装口另一侧，密封箱上安装有驱动组件，在关闭密封门后，密封门上的L形板穿过锁紧盘上的安装口，工作人员通过驱动组件驱使锁紧盘旋转，使得锁紧盘在转动的过程中将L形板向密封箱内部移动，从而使得密封门压紧密封箱并抵紧密封圈，提高了密封门和密封箱之间的密封性，降低了外界粉尘、气体等进入密封箱内影响真空镀膜质量的概率。
本实用新型一种磁控溅射设备密封结构在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射设备密封结构，包括多个支撑腿1、与支撑腿1顶部上端的密封箱2以及与密封箱2通过合页连接的密封门3，其特征是：所述密封门3侧壁开设有安装槽21，所述安装槽21内设置有密封圈4，所述密封门3上固定有L形板5，所述密封箱2内顶壁固定有安装板6，所述安装板6侧壁转动连接有转轴7，所述转轴7远离安装板6的一端固定有锁紧盘8，所述锁紧盘8上开设有供L形板5穿过的安装口81，所述锁紧盘8的厚度从安装口81一侧沿安装口81周向逐渐增大到安装口81另一侧，所述密封箱2上安装有用于驱使转轴7旋转的驱动组件9。
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