恭喜合肥晶合集成电路股份有限公司崔立加获国家专利权
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龙图腾网恭喜合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利图像传感器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119730426B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510169935.0，技术领域涉及：H10F39/12；该发明授权图像传感器及其制造方法是由崔立加;王冉;王梦晴;徐华超设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本图像传感器及其制造方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种图像传感器及其制造方法，包括：提供衬底，所述衬底上形成有保护层，所述保护层内形成有多个相互隔离的沟槽，所述沟槽沿垂直所述衬底的表面的方向延伸至所述衬底中；于所述保护层上形成牺牲层，所述牺牲层填充所述沟槽远离所述衬底一侧的端部，且所述牺牲层的表面形成有多个凹陷，所述凹陷朝向所述衬底的表面的投影落入所述沟槽朝向所述衬底的表面的投影中；刻蚀所述牺牲层，以使所述凹陷与所述沟槽相互连通；于所述沟槽内填充金属材料，以形成金属格栅。本申请减少或避免了因套刻误差导致金属格栅偏移的问题，简化了工艺流程，增大了图像传感器的收光面积，降低了图像传感器的缺陷率。
本发明授权图像传感器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种图像传感器的制造方法，其特征在于，包括：提供衬底，所述衬底上形成有保护层，所述保护层内形成有多个相互隔离的沟槽，所述沟槽沿垂直所述衬底的表面的方向延伸至所述衬底中；于所述保护层上形成牺牲层，所述牺牲层填充所述沟槽远离所述衬底一侧的端部，且所述牺牲层的表面形成有多个凹陷，所述凹陷朝向所述衬底的表面的投影落入所述沟槽朝向所述衬底的表面的投影中；刻蚀所述牺牲层，以使所述凹陷与所述沟槽相互连通；于所述沟槽内填充金属材料，以形成金属格栅。
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