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龙图腾网恭喜无锡旭邦精密机械有限公司申请的专利一种硅片表面处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119347570B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411954218.0，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权一种硅片表面处理设备是由宋文;刘云华;周龙;曹刚;焦利设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片表面处理设备在说明书摘要公布了：本发明属于硅片打磨技术领域，公开了一种硅片表面处理设备，包括底座、支撑盘和收集组件，还包括：研磨机构，包括升降组件、切削液管、齿环和研磨轮，齿环内侧啮合有齿轮，齿轮上端面连接有驱动组件，齿轮下端面转动连接有第二连杆，第二连杆下端面转动安装有滑块，滑块外壁滑动安装有固定框；防护机构，包括挤压组件、冷却组件和防护环，防护环外壁固定安装有挡环，挡环外壁沿其圆周均匀安装有若干个拉簧，拉簧远离挡环一侧安装有转动块；挤压组件，包括对称安装在滑块外壁上的挤压块和对称安装在固定框内壁上的弹簧，弹簧下端面安装有滑杆，滑杆下端面转动安装有锥形轮。本发明解决了现有装置打磨硅片时容易发生崩边的问题。

本发明授权一种硅片表面处理设备在权利要求书中公布了：1.一种硅片表面处理设备，包括底座1、位于底座1上方用于支撑硅片3并且可旋转的支撑盘9，以及位于底座1内部的收集组件，其特征在于，还包括：研磨机构，包括升降组件、切削液管5、齿环11和研磨轮20，所述齿环11内侧啮合有齿轮18，所述齿轮18上端面连接有驱动组件，齿轮18下端面转动连接有第二连杆23，所述第二连杆23下端面转动安装有滑块24，所述滑块24外壁滑动安装有固定框12；当升降组件带动研磨轮20与硅片3抵接后，切削液管5供给切削液，驱动组件带动齿轮18在齿环11内转动，齿轮18带动滑块24在固定框12内往复移动，滑块24带动研磨轮20在硅片3上移动，完成均匀打磨；防护机构，包括挤压组件、冷却组件和防护环29，所述防护环29外壁固定安装有挡环30，所述挡环30外壁沿其圆周均匀安装有若干个拉簧27，所述拉簧27远离挡环30一侧安装有转动块26；当滑块24往复移动时，挤压组件挤压研磨轮20下方的挡环30，挡环30带防护环29抵接在硅片3外壁上，防止崩边；挤压组件，包括对称安装在滑块24外壁上的挤压块15和对称安装在固定框12内壁上的弹簧14，所述弹簧14下端面安装有滑杆16，所述滑杆16下端面转动安装有锥形轮17；滑块24移动时，带动挤压块15挤压滑杆16，滑杆16带动锥形轮17下降，锥形轮17挤压挡环30；所述升降组件包括支撑板4，所述支撑板4固定安装在底座1外壁上，支撑板4下端面安装有电动伸缩杆6，所述电动伸缩杆6下端面安装有支撑架7；所述驱动组件包括第二伺服电机21，所述第二伺服电机21上端面安装在支撑架7上，第二伺服电机21的输出轴固定安装有第一连杆22，所述第一连杆22远离第二伺服电机21一端转动安装在齿轮18上。

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