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龙图腾网恭喜江苏上达半导体有限公司申请的专利一种COF封测用蚀刻装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119028883B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411515962.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种COF封测用蚀刻装置是由王健;陆文;孙彬;谷林;戚胜利;韩少华;孙飞;刘明寒;杨洁;叶斌;金程缘;叶新智;黄春生;方磊设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种COF封测用蚀刻装置在说明书摘要公布了：本发明公开的一种COF封测用蚀刻装置，属于封装基板技术领域，包括用于支撑和固定的支撑板一，所述支撑板一的上端安装有支撑台，所述支撑台的上壁分别安装有驱动调控组件、清洁组件和干燥组件，所述支撑台上壁还安装有支撑板二，所述支撑板二的上壁上安装有连接固定组件，所述连接固定组件的下端活动设于清洁组件内，所述驱动调控组件分别与清洁组件、连接固定组件和干燥组件相连，速度降低的清洁液对基板进行缓和冲洗，既克服了快速运动的清洗液容易对基板造成损伤，静止的清洗液又不容易冲刷污垢的缺陷，在不损伤基板的情况下，增加了对基板的清洁度，同时还具备烘干功能。

本发明授权一种COF封测用蚀刻装置在权利要求书中公布了：1.一种COF封测用蚀刻装置，包括用于支撑和固定的支撑板一，所述支撑板一的上端安装有支撑台，其特征在于，所述支撑台的上壁分别安装有驱动调控组件、清洁组件和干燥组件，所述支撑台上壁还安装有支撑板二，所述支撑板二的上壁上安装有连接固定组件，所述连接固定组件的下端活动设于清洁组件内，所述驱动调控组件分别与清洁组件、连接固定组件和干燥组件相连；所述驱动调控组件包括支撑座二，所述支撑座二设于支撑台上壁上，所述支撑座二的上端活动安装有齿轮一，所述齿轮一侧壁设有轮齿和平整区，所述轮齿和平整区交错放置，所述齿轮一的上壁安装有驱动台，所述驱动台侧壁设有用于限位的槽孔，所述槽孔包括平行槽和V形槽，所述平行槽和V形槽交错放置，相邻两组所述平行槽分别与V形槽的两端贯通连接，且平行槽设于V形槽的上端，所述平行槽设于轮齿的上端，所述V形槽设于平整区的上端；所述清洁组件包括连接轴一，所述连接轴一设于支撑台上壁上，所述连接轴一的上端活动安装有齿轮二，所述齿轮二与齿轮一上的轮齿啮合，所述齿轮二上安装有清洗桶，所述清洗桶内侧壁安装有多组用于对清洗液以及空气搅拌的搅动板，多组所述搅动板呈环形等间隔均匀设于清洗桶内侧壁上；所述支撑板二的上端安装有连接板一，所述支撑板二的侧壁安装有连接板二，所述连接板一设于连接板二的上端；所述连接固定组件包括限位杆和套筒，所述限位杆的上端设于连接板一的底壁上，所述套筒活动套接设于限位杆外侧，所述套筒上安装有连接板三，所述连接板三和连接板二之间安装有伸缩杆，所述连接板三远离套筒的一端底壁安装有连接杆一，所述连接杆一的下端安装有驱动杆，所述驱动杆远离连接杆一的一端活动卡接设于槽孔内。

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