买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜天津大学申请的专利一种晶圆片厚度大量程、高精度快速解算方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115682964B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211361994.0，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种晶圆片厚度大量程、高精度快速解算方法是由孙新磊;胡春光;王子政;胡晓东;翟聪;袁禹聪;姚程源;税旭青设计研发完成，并于2022-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆片厚度大量程、高精度快速解算方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆片厚度大量程、高精度快速解算方法，包括下列步骤：确定待测晶圆片在测量波长下的折射率；获得待测晶圆片反射光电场矢量的光学模型；获得傅里叶变换法和希尔伯特变换法的适用区间；对于待测晶圆片，获得其光学厚度初值；若光学厚度初值大于设定阈值，则通过希尔伯特变换法求取待测晶圆片的物理厚度；否则，通过傅里叶变换法求取待测晶圆片的物理厚度。

本发明授权一种晶圆片厚度大量程、高精度快速解算方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片厚度大量程、高精度快速解算方法，包括下列步骤：S1：确定待测晶圆片在测量波长下的折射率n；S2：建立待测晶圆片反射光电场矢量的光学模型；S3：获得傅里叶变换法和希尔伯特变换法的适用区间，方法如下：选定厚度仿真范围，在此范围内，对不同的厚度值，使用S2的光学模型生成此厚度下的仿真反射光谱并进行厚度解算，厚度解算时，分别采用傅里叶变换法和希尔伯特变换法两种方法进行厚度解算，求出解算厚度值与理论值间的差作为误差，将两种方法解算厚度的标准差作为重复性评价标准，得到两种方法各自的误差曲线；根据各自的误差曲线，寻找傅里叶变换法和希尔伯特变换法的适用区间，得到厚度计算阈值d；S4：对于待测晶圆片，采集其原始反射光谱，对该原始反射光谱进行中值滤波，滤除基频，获得高频信号；S5：将待测晶圆样品的高频信号转换到波数域,进行快速傅里叶变换，根据振荡波形快速傅里叶变换曲线的最大幅值对应的横坐标，获得其光学厚度初值Dl；S6：若光学厚度初值Dl大于d*n，则通过希尔伯特变换法求取待测晶圆片的物理厚度D；否则，通过傅里叶变换法求取待测晶圆片的物理厚度D。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津大学，其通讯地址为：300072 天津市南开区卫津路92号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。