恭喜上海华力微电子有限公司刘欣欣获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海华力微电子有限公司申请的专利基于派工规则的自适应铜化学机械抛光设备智能排程控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115555981B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211343857.4，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权基于派工规则的自适应铜化学机械抛光设备智能排程控制方法是由刘欣欣;孙惺磊;何瑜;张峰;程杰设计研发完成，并于2022-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于派工规则的自适应铜化学机械抛光设备智能排程控制方法在说明书摘要公布了：一种基于派工规则的自适应铜化学机械抛光设备智能排程控制方法，所述方法包括：提供基础数据单元，用以存储每卡LOT与铜CMP设备的信息；提供具有设备参数、LOT参数及分配模型参数的参数配置单元，并对所述参数进行配置，使排程结果符合生产线需求；提供具有主层级单元和辅助层级单元的模型单元，主层级单元根据设备IDLE空闲时间，设备可作业LOT时间，可作业LOT进行分配，辅助层级单元在主层级单元基础上进行调整，用以完成铜CMP设备智能排程；排程输出单元，根据计算，得出每台设备的排货清单，设备根据排货清单进行派工。本发明不仅以调度界面进行呈现，便于生产线人员查询设备派工排程，而且可以提升设备利用率，降低产品品质风险，值得业界推广使用。
本发明授权基于派工规则的自适应铜化学机械抛光设备智能排程控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基于派工规则的自适应铜化学机械抛光设备智能排程控制方法，其特征在于，包括：执行步骤S1：提供基础数据单元，所述基础数据单元用以存储每卡LOT与铜CMP设备的信息；执行步骤S2，提供具有设备参数、LOT参数及分配模型参数的参数配置单元，并对所述参数进行配置，使排程结果符合生产线需求；执行步骤S3，提供具有主层级单元和辅助层级单元的模型单元，主层级单元根据设备IDLE（空闲时间），设备可作业LOT时间，可作业LOT进行分配，辅助层级单元在主层级单元基础上进行调整，用以完成铜CMP设备智能排程；执行步骤S4，排程输出单元计算得出每台设备的排货清单，设备便根据排货清单进行派工。
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