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龙图腾网恭喜上海华力集成电路制造有限公司申请的专利晶圆传送模块及其传送预传送的晶圆的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114446843B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011201852.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆传送模块及其传送预传送的晶圆的方法是由任昱;许进;昂开渠;唐在峰设计研发完成，并于2020-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆传送模块及其传送预传送的晶圆的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造机台中的晶圆传送模块，涉及半导体集成电路制造机台，通过在晶圆传送模块的侧壁加装两组发射接收器，以监控电梯的行进位置，并在晶圆传送模块的侧壁加装两组发射接收器，以监控传送手臂的位置，并将接收器接收的信号传送至控制系统，而使控制系统根据电梯的行进位置及传送手臂位置判断传送手臂是否可获取预传送的晶圆，而可防止因电梯位置偏移或传送手臂位置偏移导致的晶圆刮伤问题。

本发明授权晶圆传送模块及其传送预传送的晶圆的方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造机台中的晶圆传送模块，其特征在于，包括：第一传送模块侧壁和与第一传送模块侧壁相对的第二传送模块侧壁；电梯，位于第一传送模块侧壁与第二传送模块侧壁之间，用于承载晶圆，其中电梯包括电梯侧壁以及多个插片，多个插片的一端沿电梯侧壁的高度方向间隔排布地固定到电梯侧壁上，多个插片的另一端凸出出电梯侧壁，凸出出电梯侧壁的部分承载晶圆，并电梯侧壁在其高度方向上与第一传送模块侧壁和第二传送模块侧壁的延伸方向一致；第一发射器和第一接收器，第一发射器设置于第一传送模块侧壁上，第一接收器设置于第二传送模块侧壁上，第一接收器与第一发射器的位置相对，以使在第一接收器与第一发射器之间无障碍物阻挡的情况下，第一接收器可接收到第一发射器发射出的信号；第二发射器和第二接收器，第二发射器设置于第一传送模块侧壁上，第二接收器设置于第二传送模块侧壁上，第二接收器与第二发射器的位置相对，以使在第二接收器与第二发射器之间无障碍物阻挡的情况下，第二接收器可接收到第二发射器发射出的信号，第一发射器和与其对应的第一接收器以及第二发射器和与其对应的第二接收器用于监控预传送的晶圆在垂直方向上的位置，并根据预传送的晶圆在垂直方向上的位置变化，第一接收器输出第一晶圆位置信号E1，第二接收器输出第二晶圆位置信号E2，其中预传送的晶圆在垂直方向上的位置变化由电梯在垂直方向上的移动实现；第三发射器和第三接收器，第三发射器设置于第一传送模块侧壁上，第三接收器设置于第二传送模块侧壁上，第三接收器与第三发射器的位置相对，以使在第三接收器与第三发射器之间无障碍物阻挡的情况下，第三接收器可接收到第三发射器发射出的信号；第四发射器和第四接收器，第四发射器设置于第一传送模块侧壁上，第四接收器设置于第二传送模块侧壁上，第四接收器与第四发射器的位置相对，以使在第四接收器与第四发射器之间无障碍物阻挡的情况下，第四接收器可接收到第四发射器发射出的信号，其中第三发射器和与其对应的第三接收器以及第四发射器和与其对应的第四接收器用于监控用于传送晶圆的传送手臂在垂直方向上的位置，并根据传送手臂在垂直方向上的位置变化，第三接收器输出第一传送手臂位置信号H1，第四接收器输出第二传送手臂位置信号H2；以及控制系统，接收第一晶圆位置信号E1、第二晶圆位置信号E2、第一传送手臂位置信号H1和第二传送手臂位置信号H2，并根据第一晶圆位置信号E1、第二晶圆位置信号E2、第一传送手臂位置信号H1和第二传送手臂位置信号H2输出一传送手臂控制信号C，用于控制传送手臂是否动作以获取预传送的晶圆，其中垂直方向为电梯侧壁的高度方向。

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