恭喜日本株式会社日立高新技术科学村木礼奈获国家专利权
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龙图腾网恭喜日本株式会社日立高新技术科学申请的专利带电粒子束装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112563103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011014963.9,技术领域涉及:H01J37/20;该发明授权带电粒子束装置是由村木礼奈;上本敦;麻畑达也设计研发完成,并于2020-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本带电粒子束装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种带电粒子束装置,能够使自动微采样高速化。带电粒子束装置是从试样自动地制作试样片的带电粒子束装置,具备:带电粒子束照射光学系统,其照射带电粒子束;试样台,其载置着所述试样移动;试样片移设单元,其保持并运送从所述试样分离及摘出的所述试样片;保持器固定台,其保持供移设所述试样片的试样片保持器;以及计算机,其根据学习第1信息而得到的机器学习的模型和第2信息来进行与第2对象物相关的位置的控制,其中,所述第1信息包含第1对象物的第1图像,所述第2信息包含通过所述带电粒子束的照射而取得的第2图像。
本发明授权带电粒子束装置在权利要求书中公布了:1.一种带电粒子束装置,其从试样自动地制作试样片,所述带电粒子束装置具备:带电粒子束照射光学系统,其照射带电粒子束;试样台,其载置着所述试样移动;试样片移设单元,其保持并运送从所述试样分离及摘出的所述试样片;保持器固定台,其保持供移设所述试样片的试样片保持器;以及计算机,其根据学习第1信息而得到的机器学习的模型和第2信息来进行与第2对象物相关的位置的控制,其中,所述第1信息包含第1对象物的第1图像,所述第2信息包含通过所述带电粒子束的照射而取得的第2图像,所述第1对象物和所述第2对象物是与带电粒子束的照射相关的物体,所述第2对象物包含所述试样片,所述第1图像包含示出了所述试样片被分离及摘出之前的所述试样片的形状的图像。
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