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恭喜日本株式会社日立高新技术科学村木礼奈获国家专利权

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龙图腾网恭喜日本株式会社日立高新技术科学申请的专利带电粒子束装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112563101B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011007799.9,技术领域涉及:H01J37/20;该发明授权带电粒子束装置是由村木礼奈;上本敦;麻畑达也设计研发完成,并于2020-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

带电粒子束装置在说明书摘要公布了:本发明提供带电粒子束装置,能够使自动MS稳定化。带电粒子束装置是从试样中自动地制作试样片的带电粒子束装置,具备:带电粒子束照射光学系统,其照射带电粒子束;试样载台,其载置试样而移动;试样片移设单元,其保持从试样中分离并摘出的试样片而进行输送;支架固定台,其保持用于移设试样片的试样片支架;以及计算机,其基于根据针对与对象物相关的位置的第1判定的结果而进行的针对位置的第2判定的结果、以及包括通过带电粒子束的照射而取得的图像在内的信息,进行位置的控制。

本发明授权带电粒子束装置在权利要求书中公布了:1.一种带电粒子束装置,其从试样中自动地制作试样片,其中,所述带电粒子束装置具备:带电粒子束照射光学系统,其照射带电粒子束;试样载台,其载置所述试样而移动;试样片移设单元,其保持从所述试样中分离并摘出的所述试样片而进行输送;支架固定台,其保持用于移设所述试样片的试样片支架;以及计算机,其基于根据针对与对象物相关的位置的第1判定的结果而进行的针对所述位置的第2判定的结果、以及包括通过所述带电粒子束的照射而取得的图像在内的信息,进行所述位置的控制,所述第1判定是基于使用了针对所述对象物的模板的模板匹配而进行的判定、且所述第2判定是基于学习包括第2对象物的第2图像在内的第2信息得到的机器学习的模型而进行的判定,或者所述第1判定是基于所述机器学习的模型而进行的判定、且所述第2判定是基于所述模板匹配而进行的判定。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人日本株式会社日立高新技术科学,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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