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龙图腾网恭喜津上智造智能科技江苏有限公司申请的专利水浸式超声扫描显微镜晶圆检测用承载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119666994B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510189287.5，技术领域涉及：G01N29/06；该发明授权水浸式超声扫描显微镜晶圆检测用承载装置是由王燕平;张学玲;李开明设计研发完成，并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本水浸式超声扫描显微镜晶圆检测用承载装置在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体检测的技术领域，尤其是涉及水浸式超声扫描显微镜晶圆检测用承载装置，包括承载台，承载台上开设有吸附流道，承载台内设有负压流道，承载台上开设有与吸附流道相连通的负压孔，承载台上开设有容纳槽，容纳槽底部竖直固定有若干用于支撑晶圆的支撑台，支撑台的侧壁与容纳槽之间形成吸附流道，外环道内设有软质的环形的密封圈，密封圈的厚度不小于支撑台的高度，承载台上周向均匀设有若干位于外环道内的变径爪，变径爪沿容纳槽径向滑动连接于外环道内，变径爪与密封圈相连。由于密封圈的密封，支撑台上表面与晶圆之间残存的检测液较小，两者之间的吸附力较小，晶圆取下时不易破片，从而降低晶圆的破片率。

本发明授权水浸式超声扫描显微镜晶圆检测用承载装置在权利要求书中公布了：1.水浸式超声扫描显微镜晶圆检测用承载装置，包括可升降的承载台1，所述承载台1上开设有吸附流道2，所述承载台1内设有负压流道11，所述承载台1上开设有与吸附流道2相连通的负压孔12，所述负压孔12与负压流道11相连通，其特征在于：所述承载台1上开设有用于容纳晶圆的容纳槽3，所述容纳槽3底部竖直固定有若干用于支撑晶圆的支撑台4，所述支撑台4的侧壁与容纳槽3之间形成吸附流道2，所述吸附流道2包括直径大于晶圆直径的外环道21，所述外环道21内设有软质的环形的密封圈5，所述密封圈5的厚度不小于支撑台4的高度，所述承载台1上周向均匀设有若干位于外环道21内的变径爪6，所述变径爪6沿容纳槽3径向滑动连接于外环道21内，所述变径爪6与密封圈5相连。

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