恭喜麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司施朱斌获国家专利权
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龙图腾网恭喜麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司申请的专利四探针测量仪、四探针测量系统及四探针测量仪测量待测晶圆的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119414212B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510007147.1，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权四探针测量仪、四探针测量系统及四探针测量仪测量待测晶圆的方法是由施朱斌;刘相华设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本四探针测量仪、四探针测量系统及四探针测量仪测量待测晶圆的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体检测技术领域，提供了一种四探针测量仪、四探针测量系统及四探针测量仪测量待测晶圆的方法，其中四探针测量仪包括：四个探针，所述探针具有贯通上下的通道；激光发射器，所述激光发射器发射的激光从上到下穿过所述通道，照射到待测晶圆上；固定板，所述固定板具有与所述探针相对的孔洞，所述探针从所述孔洞中穿过，所述固定板用于固定所述探针，以及阻挡所述探针外部的激光照射到待测晶圆上。本发明用激光照射半导体，使电子跃迁到导带，同时产生空穴，形成电子‑空穴对，从而改善接触特性，可以使探针和被测硅片表面形成良好的欧姆接触，提高硅片测量的稳定性。
本发明授权四探针测量仪、四探针测量系统及四探针测量仪测量待测晶圆的方法在权利要求书中公布了：1.一种四探针测量仪，其特征在于，包括：四个探针，所述探针具有贯通上下的通道；激光发射器，所述激光发射器发射的激光从上到下穿过所述通道；进行测量时，使所述探针与晶圆表面之间物理接触，用激光照射所述探针与晶圆的接触面，使电子跃迁到导带，同时产生空穴，形成电子空穴对，从而改善接触特性；固定板，所述固定板具有与所述探针相对的孔洞，所述探针从所述孔洞中穿过，所述固定板用于固定所述探针，以及阻挡所述探针外部的激光照射到待测晶圆上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路2305号B幢12层(产证楼层为11层)1203工位；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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