恭喜华中科技大学;湖北江城实验室薛堪豪获国家专利权
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龙图腾网恭喜华中科技大学;湖北江城实验室申请的专利一种提高铪基铁电器件性能的退火方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114937599B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210477409.7，技术领域涉及：H10D30/01；该发明授权一种提高铪基铁电器件性能的退火方法是由薛堪豪;白娜;孙华军;缪向水设计研发完成，并于2022-05-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高铪基铁电器件性能的退火方法在说明书摘要公布了：本发明属于微电子器件技术领域，公开了一种提高铪基铁电器件性能的退火方法，铪基铁电器件包括铪基铁电功能层、第一电极和第二电极；记第一电极和第二电极中，相对较不易氧化的电极为惰性电极，另一者为对电极；退火过程中，通过控制退火炉的加热排灯，仅使用靠近惰性电极的单侧排灯对退火炉进行加热，快速热退火在预设的目标退火温度下的保温时间不长于60s；利用快速热退火，能够提升铪基铁电器件的剩余极化性能。本发明通过仅单侧排灯加热退火的方式，可以促使更多的中心对称t相转换为非中心对称的铁电相o相，促使铁电器件展现出优异的铁电性能。
本发明授权一种提高铪基铁电器件性能的退火方法在权利要求书中公布了：1.一种提高铪基铁电器件性能的退火方法，铪基铁电器件包括铪基铁电功能层、以及分别位于该铪基铁电功能层两侧的第一电极和第二电极；其特征在于，所述第一电极和所述第二电极的电极材料互不相同；根据电极材料的氧化难易程度，记第一电极和第二电极中，相对较不易氧化的电极为惰性电极，相对较易氧化的电极为对电极；退火方法是利用退火炉对铪基铁电器件进行快速热退火；退火过程中，通过控制退火炉的加热排灯，仅使用靠近惰性电极的单侧排灯对铁电器件进行加热，使加热升温过程中炉内惰性电极处的温度高于对电极处的温度；所述快速热退火在预设的目标退火温度下的保温时间不长于60s；利用快速热退火，能够提升铪基铁电层的结晶程度，促进铪基铁电功能层中o相的占比，进而提升铪基铁电器件的剩余极化强度。
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