恭喜东京毅力科创株式会社垰田勇获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板检查方法和基板检查装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115326817B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210453442.6，技术领域涉及：G01N21/89；该发明授权基板检查方法和基板检查装置是由垰田勇设计研发完成，并于2022-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板检查方法和基板检查装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够探测基板背面的异常的基板检查方法和基板检查装置。本公开的一个方式的基板检查方法包括以下工序：一边使用叉来搬送基板，一边使用沿与搬送方向正交的宽度方向排列有多个受光元件的线阵相机来对所述基板的背面进行拍摄；基于搬送所述基板时的所述叉的轨迹信息，来校正在所述拍摄的工序中拍摄到的图像并生成校正图像；基于所述校正图像来确定特征部信息，该特征部信息包含存在于所述基板的背面的异常部的位置。
本发明授权基板检查方法和基板检查装置在权利要求书中公布了：1.一种基板检查方法，包括以下工序：一边使用叉来搬送基板，一边使用沿与搬送方向正交的宽度方向排列有多个受光元件的线阵相机来对所述基板的背面进行拍摄；基于搬送所述基板时的所述叉的轨迹信息，来校正在所述拍摄的工序中拍摄到的图像并生成校正图像；基于所述校正图像来确定特征部信息，该特征部信息包含存在于所述基板的背面的异常部的位置，其中，所述叉的轨迹信息包含将时刻与所述叉的水平位置及铅直位置建立对应关系所得到的时间序列的位置信息，在所述生成的工序中，基于拍摄到图像的时刻的所述叉的水平位置来调整该图像的水平位置，基于拍摄到图像的时刻的所述叉的铅直位置来调整该图像的尺寸。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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