恭喜细美事有限公司韩旻成获国家专利权
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龙图腾网恭喜细美事有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112735976B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011174824.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由韩旻成;朴玩哉;朱润钟;李宰厚设计研发完成，并于2020-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及可缩减工序时间的基板处理装置，本发明的基板处理装置包括：分度室，设置有装载、卸载基板的移送机器人；工序室，设置有对基板进行加热的加热单元，对基板进行工序处理；负载锁定室，配置于上述分度室与上述工序室之间；以及搬送室，形成于上述工序室与上述负载锁定室之间，设置有用于移送基板的搬送机器人，在上述搬送机器人设置有对工序处理前状态的基板进行预先加热的预先加热单元。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：分度室，设置有装载、卸载基板的移送机器人；工序室，设置有对基板进行加热的加热单元，对基板进行工序处理；负载锁定室，配置于上述分度室与上述工序室之间；以及搬送室，形成于上述工序室与上述负载锁定室之间，设置有用于移送基板的搬送机器人，上述搬送机器人包括：手部，对基板进行支撑；以及机器人本体，用于驱动上述手部，上述手部包括：加热器，设置于上述手部的内部，上述加热器对与基板相接触的上述手部进行加热，并通过接触加热方式对工序处理前状态的基板进行预先加热；以及加热灯部件，设置于上述手部的上部，上述加热灯部件对基板照射光，并通过非接触加热方式对工序处理前状态的基板进行预先加热，若工序处理前状态的基板放置于上述手部，则开启上述加热灯部件之后，开启上述加热器来依次对上述工序处理前状态的基板进行预先加热。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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