恭喜ASMIP私人控股有限公司李昌敏获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASMIP私人控股有限公司申请的专利基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112447478B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010765294.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理设备是由李昌敏;郑元基设计研发完成，并于2020-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备在说明书摘要公布了：一种基板处理设备，能够通过均匀排气来处理薄膜以提高质量，包括：基板支撑单元；基板支撑单元上的处理单元；排气单元，其连接到基板支撑单元与处理单元之间的反应空间；排气端口，其连接到排气单元的至少一部分；以及流动控制单元，其设置在从排气单元内部的空间到排气端口的排气通道中。
本发明授权基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括：基板支撑单元；基板支撑单元上的处理单元；排气单元，其连接到基板支撑单元与处理单元之间的反应空间；排气端口，其连接到排气单元的至少一部分；流动控制单元，其设置在从排气单元内部的空间到排气端口的排气通道中；力施加单元，所述力施加单元被配置成产生用于移动流动控制单元的力；接收单元，用于接收力施加单元的力；以及滚动单元，所述滚动单元在力施加单元和接收单元之间，其中，所述用于移动流动控制单元的力是磁力；且所述力施加单元包括磁力施加单元。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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