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龙图腾网恭喜北京航空航天大学杭州创新研究院申请的专利高密度阵列结构的非硅基薄膜器件制备用对准装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111710639B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010701252.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权高密度阵列结构的非硅基薄膜器件制备用对准装置是由邓元;王赫;张玮峰;赵未昀;胡少雄设计研发完成，并于2020-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本高密度阵列结构的非硅基薄膜器件制备用对准装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种高密度阵列结构的非硅基薄膜器件制备用对准装置，包括有支撑装置、位于支撑装置上方基片保持器、连接支撑装置与基片保持器并用于带动基片保持器相对于支撑装置水平位移的水平移动单元、位于基片保持器上方的载荷夹具、连接支撑装置和载荷夹具并用于带动载荷夹具相对于支撑装置竖直位移的竖直移动单元、位于载荷夹具上方的光学观测单元和连接支撑装置和光学观测单元并用于带动光学观测单元相对于支撑装置水平或竖直位移的支架移动单元，载荷夹具中部设置有观测孔。如此设置，本设备简单，成本低，可以实现非硅基基片与各种掩模板的对准，以及多层图案连续多次对准，有利于提升非硅基薄膜器件的制备效率。

本发明授权高密度阵列结构的非硅基薄膜器件制备用对准装置在权利要求书中公布了：1.一种高密度阵列结构的非硅基薄膜器件制备用对准装置，其特征在于，包括有支撑装置、位于所述支撑装置上方用于固定基片的基片保持器5、连接所述支撑装置与所述基片保持器5并用于带动所述基片保持器5相对于所述支撑装置水平位移的水平移动单元4、位于所述基片保持器5上方用于固定掩模板的载荷夹具6、连接所述支撑装置和所述载荷夹具6并用于带动所述载荷夹具6相对于所述支撑装置竖直位移的竖直移动单元、位于所述载荷夹具6上方的光学观测单元9和连接所述支撑装置和所述光学观测单元9并用于带动所述光学观测单元9相对于所述支撑装置水平或竖直位移的支架移动单元，所述载荷夹具6中部设置有沿竖直方向贯穿用于透出所述掩模板的观测孔25；通过调节所述水平移动单元4、所述竖直移动单元和所述支架移动单元，带动所述光学观测单元9透过所述观测孔25观测、并对准所述掩模板和所述基片；所述支撑装置包括有减震基座1、位于所述减震基座1上方的台面3和连接所述减震基座1和所述台面3并用于带动所述台面3相对于所述减震基座1水平位移的台面移动单元2，所述基片保持器5和所述载荷夹具6连接在所述台面3上，所述光学观测单元9连接在所述减震基座1上；所述支架移动单元包括有可伸缩的水平丝杠滑台10和连接在所述水平丝杠滑台10和所述减震基座1之间并竖直延伸的立柱11，所述水平丝杠滑台10可滑动地套设在所述立柱11外、并通过摇杆15调节锁紧，所述光学观测单元9连接在所述水平丝杠滑台10的伸缩端；所述光学观测单元9和所述支架移动单元均设置有两个、且分别位于所述基片保持器5的两侧。

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