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龙图腾网恭喜合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种用于减薄晶圆的设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119725178B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510211898.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于减薄晶圆的设备和方法是由张雷;马多谋;鲁剑飞设计研发完成，并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于减薄晶圆的设备和方法在说明书摘要公布了：本披露公开了一种用于减薄晶圆的设备和方法。该设备包括：晶圆刻蚀室，用于放置晶圆及利用刻蚀液刻蚀晶圆；溶液回收池，用于容纳刻蚀晶圆所形成的脏污刻蚀液，脏污刻蚀液内含有带负电的残留物；第一回收管路，其一端连接于晶圆刻蚀室，另一端连接于溶液回收池，以将脏污刻蚀液从晶圆刻蚀室输送至溶液回收池；以及第二回收管路，其一端连接于溶液回收池，以从溶液回收池抽取脏污刻蚀液；第二回收管路上设置有颗粒分离装置，颗粒分离装置中设有正电极板和负电极板，正电极板用于吸附残留物，以将脏污刻蚀液过滤成刻蚀液。通过本披露实施例的方案，能够缩短换酸周期，减少整个工艺所耗费的时间和原材料，降低工艺成本。

本发明授权一种用于减薄晶圆的设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于减薄晶圆的设备，其特征在于，包括：晶圆刻蚀室（10），用于放置晶圆及利用刻蚀液刻蚀晶圆；溶液回收池（20），用于容纳刻蚀晶圆所形成的脏污刻蚀液，所述脏污刻蚀液内含有带负电的残留物；第一回收管路（30），其一端连接于所述晶圆刻蚀室（10），另一端连接于所述溶液回收池（20），以将所述脏污刻蚀液从所述晶圆刻蚀室（10）输送至所述溶液回收池（20）；以及第二回收管路（40），其一端连接于所述溶液回收池（20），以从所述溶液回收池（20）抽取所述脏污刻蚀液；所述第二回收管路（40）上设置有颗粒分离装置（41），在所述颗粒分离装置（41）中，所述第二回收管路（40）的输送方向的两侧分别设有正电极板和负电极板，所述正电极板用于吸附所述残留物，以将所述脏污刻蚀液过滤成所述刻蚀液。

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