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龙图腾网恭喜江苏首芯半导体科技有限公司申请的专利一种真空晶圆加热器升降机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119008512B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411500631.X，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种真空晶圆加热器升降机构是由李海滨;许旭铭设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空晶圆加热器升降机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种真空晶圆加热器升降机构，包括：腔体；基座设置于所述腔体内；底座设置于所述腔体下方，所述底座与所述基座的支撑轴连接；调平装置设置于所述腔体与底座之间；连接组件连接所述底座和调平装置；调平装置包括调平板、竖杆、第一竖向调节件和第二竖向调节件；竖杆的上端与腔体的下壁连接，竖杆的下端与所述调平板的第一端转动连接，第一竖向调节件和第二竖向调节件设置于所述调平板的第二端，用于分别调节调平板第二端相对于所述下壁的距离。本发明的调平装置采用三点定位，在一侧调节，方便人手操作，调节简单。

本发明授权一种真空晶圆加热器升降机构在权利要求书中公布了：1.一种真空晶圆加热器升降机构，其特征在于，包括：腔体；基座，所述基座设置于所述腔体内，用于承载待加工晶圆，所述基座内设置加热组件；底座，所述底座设置于所述腔体下方，所述底座与所述基座的支撑轴连接；调平装置，所述调平装置设置于所述腔体与底座之间，用于调节所述基座的水平度；连接组件，所述连接组件连接所述底座和调平装置；其中，所述调平装置包括调平板、竖杆、第一竖向调节件和第二竖向调节件；所述竖杆的上端与所述腔体的下壁连接，所述竖杆的下端与所述调平板的第一端转动连接，所述第一竖向调节件和第二竖向调节件设置于所述调平板的第二端，用于分别调节调平板第二端相对于所述下壁的距离，所述第一端和第二端相对；所述调平板为长方形板，所述第一端和第二端分别位于长方形的两个短边，所述第一端位于传输腔一侧；第一竖向调节件和第二竖向调节件均包括粗调组件，用于粗略调节调平板第二端相对于所述下壁的距离；所述粗调组件包括杆、弹性体和螺栓；所述杆的上端与所述腔体的下壁连接，所述杆的下端与所述调平板活动连接；所述弹性体设置于所述下壁和调平板的上表面之间，用于向调平板提供向下的力；所述螺栓设置于所述调平板的下表面，与所述杆的下端螺纹连接，用于粗略调节调平板第二端相对于所述下壁的距离；所述第一竖向调节件和第二竖向调节件均包括细调组件，所述细调组件设置于所述调平板的下表面和螺栓之间，用于细调调平板第二端相对于所述螺栓的距离，进而调节调平板第二端相对于所述下壁的距离；所述调平板水平设置，所述第一竖向调节件和第二竖向调节件分别靠近所述调平板相对的侧面设置；所述细调组件包括具有斜面的两个滑块和推杆，所述两个滑块的斜面相对，所述推杆用于推动其中一个滑块的斜面相对于另一滑块滑动的斜面滑动；其中，所述推杆沿着第一方向往复移动，从而推动所述滑块沿着第一方向相对移动；所述第一方向为调平板的第一端和第二端连线的方向。

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