恭喜安徽越好电子装备有限公司陈桉苡获国家专利权
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龙图腾网恭喜安徽越好电子装备有限公司申请的专利真空镀膜设备的传送机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119040842B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411496852.4,技术领域涉及:C23C14/56;该发明授权真空镀膜设备的传送机构是由陈桉苡;刘安辉;黄俊凯;苏芃因;俞峰;沈纬徵;郑博鸿设计研发完成,并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空镀膜设备的传送机构在说明书摘要公布了:本申请涉及真空镀膜设备技术领域,公开一种真空镀膜设备的传送机构,包括:用于承载待镀膜工件的基板架;设置在基板架的一侧且沿第一方向延伸的滑轨,滑轨上设置有沿第一方向连续排列布置的第一磁性件;带有与滑轨配合的滑槽的滑座,第一磁性件置于滑槽内;可沿第一方向循环往复运动的环形的履带,履带设置有相对第一磁性件布置且沿第一方向间隔排列布置的第二磁性件,第二磁性件和第一磁性件的极性相同,且第二磁性件的表面磁力大于第一磁性件的表面磁力。本申请利用磁性履带与磁性滑轨之间的相互作用,能够实现无接触式的、高效和稳定地传送基板架,并且在传送过程中可有效避免粉尘的产生,从而有利于提升真空镀膜设备的使用性能。
本发明授权真空镀膜设备的传送机构在权利要求书中公布了:1.真空镀膜设备的传送机构,其特征在于,包括:基板架,用于承载待镀膜工件;滑轨,设置在所述基板架的一侧且沿第一方向延伸,所述滑轨上设置有沿所述第一方向连续排列布置的第一磁性件;滑座,带有与所述滑轨配合的滑槽,所述第一磁性件置于所述滑槽内;环形的履带,所述履带可沿所述第一方向循环往复转动,并设置有相对所述第一磁性件布置且沿所述第一方向间隔排列布置的第二磁性件,所述第二磁性件和所述第一磁性件的极性相同,且所述第二磁性件的表面磁力大于所述第一磁性件的表面磁力;履带位于滑座下方;驱使履带沿着第一方向循环往复转动的驱动机构,包括带动所述履带往复转动的滚轮以及驱动所述滚轮转动的电机;遮挡件,用于封闭所述履带的两侧;所述滑轨伸入所述滑座的内部,所述履带位于所述滑座的下方且二者之间设置有隔离件,所述第一磁性件与所述第二磁性件隔着所述隔离件相斥;所述隔离件与所述滑座配合以封闭所述滑槽的底部,所述隔离件与所述遮挡件配合以封闭安装所述履带的空间。
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