云际芯光(珠海)微电子有限公司;天津大学张浩获国家专利权
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龙图腾网获悉云际芯光(珠海)微电子有限公司;天津大学申请的专利固态装配型体声波谐振器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119154833B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411274491.9,技术领域涉及:H03H9/17;该发明授权固态装配型体声波谐振器及其制备方法是由张浩;范卫彬;崔魏巍;汤文平设计研发完成,并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本固态装配型体声波谐振器及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种固态装配型体声波谐振器及其制备方法,其中,固态装配型体声波谐振器包括衬底、依次层叠于衬底上的布拉格反射结构、第一电极层、压电层和第二电极层,布拉格反射结构包括非导电反射结构和导电反射结构,非导电反射结构和导电反射结构均包括交替堆叠的高声阻抗层和低声阻抗层,非导电反射结构的高声阻抗层和低声阻抗层的材料均为非导电材料,导电反射结构的高声阻抗层和低声阻抗层中的至少一层的材料为导电材料。本申请通过在衬底和第一电极层之间设置非导电反射结构,可以有效阻止声波透过布拉格反射结构传输至衬底,由于非导电反射结构均为非导电材料,无需对其进行图案化处理,可以减少刻蚀次数,降低工艺难度。
本发明授权固态装配型体声波谐振器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种固态装配型体声波谐振器,其特征在于,包括衬底、依次层叠于衬底上的布拉格反射结构、第一电极层、压电层和第二电极层;其中,所述布拉格反射结构包括非导电反射结构和导电反射结构,所述非导电反射结构和所述导电反射结构均包括交替堆叠的高声阻抗层和低声阻抗层,所述非导电反射结构的高声阻抗层和低声阻抗层的材料均为非导电材料,所述导电反射结构的高声阻抗层和低声阻抗层中的至少一层的材料为导电材料,所述导电材料通常为金属或合金。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人云际芯光(珠海)微电子有限公司;天津大学,其通讯地址为:519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园17栋5层501室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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