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龙图腾网恭喜华鸿锐光(北京)光电子器件制造有限公司申请的专利用于芯片测试的变温测试装置及芯片制程系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119716498B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510229404.6，技术领域涉及：G01J5/02；该发明授权用于芯片测试的变温测试装置及芯片制程系统是由鲍哲博;赵建宇;张然设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于芯片测试的变温测试装置及芯片制程系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于芯片测试的变温测试装置及芯片制程系统，涉及芯片检测的技术领域。包括中测杜瓦组件、固定组件和制冷组件；中测杜瓦组件包括薄壁冷指、过渡环、杜瓦基座、杜瓦窗口座；固定组件包括：底板；连接件，设置在底板上，且与底板具有第一高度；支撑件，设置在底板上，且与底板具有第二高度；支撑件的一端与底板连接，另一端与杜瓦窗口座支撑连接；制冷组件包括：制冷机，设置在底板上，且与外部控制装置通信连接；膨胀机，设置在底板上，一端连接制冷机，另一端通过连接件与薄壁冷指的另一端可拆卸连接；制冷机确定膨胀机的制冷温度。本发明提供的变温测试装置具有温度调节响应速率快、可调温度范围较大和温控精度较高的特点。

本发明授权用于芯片测试的变温测试装置及芯片制程系统在权利要求书中公布了：1.一种用于芯片测试的变温测试装置，其特征在于，包括中测杜瓦组件、固定组件和制冷组件； 所述中测杜瓦组件包括： 薄壁冷指； 过渡环，与所述薄壁冷指的一端连接； 杜瓦基座，与所述过渡环连接，所述杜瓦基座包括： 第一杜瓦壳体，与所述过渡环连接； 引线壳体，设置在所述第一杜瓦壳体的一侧； 连接器，与所述引线壳体连接； 绝缘子单元，设置在所述第一杜瓦壳体上，与所述连接器和测温传感器电连接； 杜瓦窗口座，通过锁紧件与所述杜瓦基座可拆卸连接； 所述固定组件包括： 底板； 连接件，设置在所述底板上，且与所述底板具有第一高度； 支撑件，设置在所述底板上，且与所述底板具有第二高度；所述支撑件的一端与所述底板连接，另一端与所述杜瓦窗口座支撑连接； 所述制冷组件包括： 制冷机，设置在所述底板上，且与外部控制装置通信连接； 膨胀机，设置在所述底板上，一端连接所述制冷机，另一端通过所述连接件与所述薄壁冷指的另一端可拆卸连接； 其中，所述制冷机根据所述外部控制装置的控制信号，确定所述膨胀机的制冷温度； 所述杜瓦窗口座包括： 冷台，包括上冷台、下冷台和冷屏； 多个插针，环周设置在所述冷台上； 引线方，设置在所述第一杜瓦壳体上； 引线环，包括上引线环和下引线环； 至少两个支撑柱，所述支撑柱的一端连接所述第一杜瓦壳体，另一端与所述引线环支撑连接； 其中，所述上冷台和所述下冷台通过第一安装孔安装连接；所述冷屏通过第二安装孔与所述冷台安装连接。

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