恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司马砚忠获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利承载装置及检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119725208B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510226533.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权承载装置及检测设备是由马砚忠;江和龄;高志民;陈鲁设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本承载装置及检测设备在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆检测技术领域，具体涉及承载装置及检测设备。承载装置包括承载部和限位部，其中，承载部具有用于承载待测物的承载面。限位部与承载部连接并处于承载部的外围，待测物放置在承载部上后，限位部能够对待测物进行止挡，阻止待测物相对承载部滑动，待测物处于承载部的承载面时，悬空空间能够使待测物边缘处于悬空状态，这样待测物与承载装置边缘接触的地方受到一个向上的支撑力以及待测物悬空部分本身受到一个向下的重力，然后利用支撑力和重力方向相反，互相影响，从而减小承载部对待测物边缘膜厚数据的影响，提高待测物边缘处的膜厚测量数据准确性，改善目前的待测物边缘处的膜厚测量数据准确性低的问题。
本发明授权承载装置及检测设备在权利要求书中公布了：1.一种承载装置，所述承载装置用于承载待测物供光学检测系统进行检测，其特征在于，包括： 承载部，所述承载部具有用于承载待测物的承载面；所述承载部通过真空吸附的方式固定所述待测物； 限位部，所述限位部与所述承载部连接并处于所述承载部的外围，所述限位部用于止挡限位所述待测物；所述限位部包括限位基体和设置在所述限位基体上的止挡结构；所述止挡结构的顶面高于所述承载面，以使所述止挡结构对所述待测物止挡限位； 所述承载部与所述止挡结构、所述限位基体围成有悬空空间，所述悬空空间用于容纳所述待测物超出所述承载部的部分，以减小所述承载部对所述待测物边缘膜厚数据的影响。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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