恭喜东京毅力科创株式会社畑中贵之获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利测定方法及测定系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113310594B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110189877.X，技术领域涉及：G01K11/26；该发明授权测定方法及测定系统是由畑中贵之;吴同;野村聪志设计研发完成，并于2021-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本测定方法及测定系统在说明书摘要公布了：提供一种测定方法及测定系统，其能够去除半导体制造装置内的噪声，并对半导体制造装置内的物理特性精确地进行预测。该测定方法由具有腔室的半导体制造装置进行，该测定方法包括：基于在未将能够进行无线通信的夹具布置在所述腔室内的状态下发送至所述腔室内的电信号，取得具有所述腔室内的谐振频率的第一测定数据，并将该第一测定数据作为基准数据的工序；基于在将所述夹具布置在所述腔室内的状态下发送至所述腔室内的电信号，取得具有所述腔室内的谐振频率和由在所述夹具上搭载的传感器所检测出的谐振频率的第二测定数据的工序；以及从取得的所述第二测定数据中减去所述基准数据，以去除噪声的工序。
本发明授权测定方法及测定系统在权利要求书中公布了：1.一种测定方法，由具有腔室的半导体制造装置进行，该测定方法包括： 基于在未将能够进行无线通信的夹具布置在所述腔室内的状态下发送至所述腔室内的电信号，取得具有所述腔室内的谐振频率的第一测定数据，并将该第一测定数据作为基准数据的工序； 基于在将所述夹具布置在所述腔室内的状态下发送至所述腔室内的电信号，取得具有所述腔室内的谐振频率和由在所述夹具上搭载的传感器所检测出的谐振频率的第二测定数据的工序；以及 从取得的所述第二测定数据中减去所述基准数据，以去除噪声的工序。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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