恭喜株式会社新川西尾秀次获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社新川申请的专利半导体装置的制造装置以及基板的清扫方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115152004B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180004176.2，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权半导体装置的制造装置以及基板的清扫方法是由西尾秀次;土川阳平设计研发完成，并于2021-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体装置的制造装置以及基板的清扫方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体装置的制造装置以及基板的清扫方法，可更有效地清扫安装芯片之前的基板的背面。半导体装置的制造装置10的特征在于包括：搬送机构16，将在表面安装芯片的基板100以其表面朝向重力方向上侧的姿势而搬送至规定的搬送方向下游侧；一个以上的辊刷30U、30D，设于所述基板100的搬送路径中途且较所述基板100的搬送高度为下侧，一边接触至所述基板100的背面104，一边绕相对于所述搬送方向而倾斜的轴旋转，由此来清扫所述背面104；以及抽吸机构50，经由一个以上的抽吸孔54来抽吸被一个以上的所述辊刷30U、30D擦除的异物。
本发明授权半导体装置的制造装置以及基板的清扫方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体装置的制造装置，其特征在于包括： 搬送机构，将在表面安装芯片的基板以其表面朝向重力方向上侧的姿势而搬送至规定的搬送方向下游侧； 一个以上的辊刷，设于所述基板的搬送路径中途且较所述基板的搬送高度为下侧，一边接触至所述基板的背面，一边绕相对于搬送方向而倾斜的轴旋转，由此来清扫所述背面；以及 抽吸机构，经由一个以上的抽吸孔来抽吸被一个以上的所述辊刷擦除的异物， 其中所述基板的所述搬送方向的尺寸短于所述搬送路径的长度， 所述搬送机构使所述基板与一个以上的所述辊刷接触的期间即清扫期间中的搬送速度小于除此以外的搬送期间中的搬送速度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社新川，其通讯地址为：日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1(邮递区号:208-8585)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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