恭喜株式会社新川前田彻获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社新川申请的专利半导体裸片的拾取装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116457926B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080107068.3,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权半导体裸片的拾取装置是由前田彻设计研发完成,并于2020-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体裸片的拾取装置在说明书摘要公布了:半导体裸片的拾取装置100包括:载台20,包括吸附晶圆片12的吸附面22a及设置于吸附面22a的矩形开口23;及柱状移动要素30,配置于载台20的开口23中,以前端面31从吸附面23突出的方式移动,且柱状移动要素30为矩形的柱状构件,在前端面31与各侧面33、34的各角部38a、38b设置有多个凹部32。
本发明授权半导体裸片的拾取装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体裸片的拾取装置,其拾取贴附于晶圆片的表面的半导体裸片, 所述半导体裸片的拾取装置的特征在于包括: 载台,包括吸附所述晶圆片的背面的吸附面及设置于所述吸附面的矩形开口; 柱状移动要素,配置于所述载台的所述开口中,以前端面从所述吸附面突出的方式移动;及 多个环状移动要素,所述多个环状移动要素以嵌套状配置于所述柱状移动要素的周围,以环状前端面从所述吸附面突出的方式移动, 所述柱状移动要素为矩形的柱状构件,在所述前端面与各侧面的各角部设置有多个凹部, 各所述环状移动要素为矩形的环状构件,在所述环状前端面与各外侧面的各角部设置有多个外侧凹部, 所述多个凹部与所述多个外侧凹部为沿着相对于移动方向而倾斜的方向延伸的矩形的槽形截面形状。
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