买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利一种重掺磷衬底高阻值外延片生产设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119877089B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510369386.1，技术领域涉及：C30B25/02；该发明授权一种重掺磷衬底高阻值外延片生产设备是由徐新华设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种重掺磷衬底高阻值外延片生产设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种重掺磷衬底高阻值外延片生产设备，具体涉及外延设备技术领域，包括设备主体、气体混合部和放置部，所述设备主体包括外壳，所述外壳内设有加热机构和升降平台，所述气体混合部包括四通管，所述四通管的一端设有混合筒，所述混合筒自由端设有搅拌机构，所述搅拌机构下部设有出气管，所述出气管上设有多个喷头，所述放置部包括转轴，所述转轴由驱动机构驱动，所述转轴上设有底座，所述底座侧面设有多个托盘。本发明通过气体混合结构、均匀的气体分布设计、灵活的操作方式和稳定耐用的结构材料，有效解决了外延生长过程中气体混合不均的问题，提高了外延生长的均匀性和生产效率。

本发明授权一种重掺磷衬底高阻值外延片生产设备在权利要求书中公布了：1.一种重掺磷衬底高阻值外延片生产设备，包括设备主体，所述设备主体包括外壳，其特征在于，所述外壳内上部设有加热机构，所述外壳内设有位于加热机构下方的升降平台；气体混合部，其包括四通管，所述四通管的一端设有混合筒，所述混合筒自由端设有搅拌机构，所述搅拌机构下部设有两个对称分布的出气管，所述出气管上设有多个喷头，所述喷头上开设有多个喷气孔；所述混合筒内设有螺旋板，所述搅拌机构包括与混合筒连通的搅拌桶，所述搅拌桶内转动连接有搅拌轴，所述搅拌轴上下两侧均设有多个沿圆周方向均布的搅拌杆，且上下两侧的搅拌杆交错分布，每个搅拌杆上均设有多个与其垂直的竖杆；放置部，其包括与升降平台转动连接的转轴，所述转轴由驱动机构驱动，所述转轴上设有位于升降平台上方的底座，所述底座侧面设有多个托盘，每个所述托盘均能够对准对应侧的喷头；所述转轴顶部设有位于搅拌轴下方的套筒，所述套筒内表面上开设有多个沿圆周方向均匀分布的卡槽，所述卡槽朝着靠近搅拌轴方向逐渐变宽，所述搅拌轴下部设有多个能够插接在卡槽内的插块；当所述驱动机构驱动转轴转动时，所述搅拌机构能够跟随转轴转动而转动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司，其通讯地址为：323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道绿谷大道309号国际车城15号楼11层-241；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。