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龙图腾网恭喜合肥图迅电子科技有限公司申请的专利一种芯片污染物检测装置及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118688215B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410674770.8，技术领域涉及：G01N21/94；该发明授权一种芯片污染物检测装置及检测方法是由郑飞;林贵成;何海双;洪敬柱;陈志强;黄东超设计研发完成，并于2024-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种芯片污染物检测装置及检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种芯片污染物检测装置及检测方法，属于芯片外观检测技术领域。针对现有技术中存在的CMOS芯片内表面污染物和外表面污染物难以区分的问题，本发明利用芯片污染物检测装置中的两个相机组件同时拍摄待检测CMOS芯片得到两个不同位置的待检测CMOS图像，通过待检测CMOS图像中基准面关键点图像像素坐标和污染物关键点图像像素坐标得到基准面关键点世界坐标和污染物关键点世界坐标，将基准面关键点世界坐标拟合为平面，计算污染物关键点世界坐标到平面的距离，判断污染物为内表面污染物或外表面污染物，实现快速区分CMOS芯片内表面污染物和外表面污染物，提高CMOS芯片污染物的检测效率和检测精度。

本发明授权一种芯片污染物检测装置及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种芯片污染物检测方法，其特征在于，包括：标定芯片污染物检测装置得到标定参数，标定参数包括基础矩阵、第一相机组件投影矩阵和第二相机组件投影矩阵； 建立图像像素坐标系，将待检测CMOS芯片放置在升降载物台（4）上，连通光源（3），第一相机组件（1）和第二相机组件（2）同时拍摄待检测CMOS芯片，得到第一相机组件检测图像和第二相机组件检测图像； 获取第一相机组件检测图像的图像像素坐标和第二相机组件检测图像的图像像素坐标，第一相机组件检测图像的图像像素坐标包括基准面关键点图像像素坐标和污染物关键点图像像素坐标； 建立世界坐标系，通过第一相机组件投影矩阵得到第一相机组件检测图像的图像像素坐标与世界坐标的关系，通过第二相机组件投影矩阵得到第二相机组件检测图像的图像像素坐标与世界坐标的关系； 进而，通过第一相机组件检测图像的图像像素坐标与世界坐标的关系、第二相机组件检测图像的图像像素坐标与世界坐标的关系，得到基准面关键点世界坐标和污染物关键点世界坐标； 将基准面关键点世界坐标拟合为平面，计算污染物关键点世界坐标到平面的距离，判断污染物为内表面污染物或外表面污染物； 采用以下芯片污染物检测装置：第一相机组件（1）、第二相机组件（2）、光源（3）以及升降载物台（4），所述光源（3）间隔设置在升降载物台（4）的正上方，所述第一相机组件（1）包括第一相机（11）和第一远心镜头（12），第一远心镜头（12）的一端与第一相机（11）连接，所述第二相机组件（2）包括第二相机（21）和第二远心镜头（22），第二远心镜头（22）的一端与第二相机（21）连接，所述第一相机组件（1）间隔设置在光源（3）的正上方，第二相机组件（2）设置在第一相机组件（1）一侧，第一相机组件（1）与第二相机组件（2）之间形成中心线夹角，第一相机组件（1）与第二相机组件（2）中心线夹角的角度设置在10°~30°之间。

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