恭喜长鑫存储技术有限公司汪铮铮获国家专利权
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龙图腾网恭喜长鑫存储技术有限公司申请的专利一种门阀装置、清洁方法和机械设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115621110B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110808805.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种门阀装置、清洁方法和机械设备是由汪铮铮;王刘光;王宏扬;姚建桥设计研发完成，并于2021-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种门阀装置、清洁方法和机械设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种门阀装置、清洁方法和机械设备，该门阀装置包括清洁组件、第一升降组件和第二升降组件，且清洁组件设置在第二升降组件上；其中，第一升降组件，用于控制真空腔室靠近摇摆门阀一侧的开口是否处于封闭状态；第二升降组件，用于在真空腔室靠近摇摆门阀一侧的开口处于封闭状态的情况下，控制清洁组件对摇摆门阀进行清洁处理。这样，通过第一升降组件能够隔绝真空腔室一侧的真空，可以在设备运行过程中进行摇摆门阀的清洁，无需停止机械设备的工作进程；通过第二升降组件可以自动化的对摇摆门阀进行清洁处理，无需拆下摇摆门阀进行清洁，提高了清洁效率。
本发明授权一种门阀装置、清洁方法和机械设备在权利要求书中公布了：1.一种门阀装置，其特征在于，安装在包括真空腔室和工艺腔室的机械设备中，所述真空腔室和所述工艺腔室之间设置有摇摆门阀，且所述门阀装置设置在所述真空腔室靠近所述摇摆门阀一侧的开口； 所述门阀装置包括清洁组件、第一升降组件和第二升降组件，且所述清洁组件设置在所述第二升降组件上；其中， 所述第一升降组件，用于控制所述真空腔室靠近所述摇摆门阀一侧的开口是否处于封闭状态； 所述第二升降组件，用于在所述真空腔室靠近所述摇摆门阀一侧的开口处于封闭状态的情况下，控制所述清洁组件对所述摇摆门阀进行清洁处理。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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