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恭喜应用材料公司桑杰伊·D·雅达夫获国家专利权

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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利气体分配组件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115516132B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180033279.1,技术领域涉及:C23C16/455;该发明授权气体分配组件是由桑杰伊·D·雅达夫;苏伦德拉·卡尼米哈利·塞蒂;李永东;元泰景;高建德;孙光伟;崔寿永设计研发完成,并于2021-05-03向国家知识产权局提交的专利申请。

气体分配组件在说明书摘要公布了:本公开内容提供了一种气体分配组件,所述气体分配组件包括框架,所述框架具有第一部分和第二部分,所述第一部分和所述第二部分彼此平行且相对。歧管被设置成与所述第一部分和所述第二部分平行并在所述第一部分与所述第二部分之间。每个歧管具有第一面和第二面。第一面具有气体入口,并且第二面具有出口。所述气体分配组件包括喷嘴。每个喷嘴耦接到所述第二面的出口的一个出口,并且每个喷嘴包括从每个喷嘴的出口延伸的喷嘴针孔。所述气体分配组件包括管,其中每个管具有耦接到所述歧管的第一歧管的第一端部和耦接到所述歧管的第二歧管的第二端部。所述管的每一个管彼此平行地设置。

本发明授权气体分配组件在权利要求书中公布了:1.一种气体分配组件,包括: 框架,所述框架包括第一部分和第二部分,所述第二部分与所述第一部分平行并相对; 多个歧管,所述多个歧管被设置成与所述第一部分和所述第二部分平行并在所述第一部分与所述第二部分之间,每个歧管彼此平行地设置,每个歧管包括第一面和第二面,所述第一面包括气体入口,并且所述第二面包括多个出口; 多个喷嘴,每个喷嘴可移除地耦接到所述第二面的所述多个出口的一个出口,每个喷嘴包括从每个喷嘴的出口延伸的喷嘴针孔;和 多个管,每个管包括耦接到所述多个歧管的第一歧管的第一端部和耦接到所述多个歧管的第二歧管的第二端部,所述管的每一个管彼此平行地设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司,其通讯地址为:美国加利福尼亚州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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