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龙图腾网恭喜HOYA株式会社申请的专利图案检查方法、光掩模检查装置、光掩模的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112578631B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011021526.X，技术领域涉及：G03F1/84；该发明授权图案检查方法、光掩模检查装置、光掩模的制造方法是由尾崎太一设计研发完成，并于2020-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本图案检查方法、光掩模检查装置、光掩模的制造方法在说明书摘要公布了：提供图案检查方法、光掩模检查装置、光掩模的制造方法。即使在微细宽度图案中，也能稳定且高精度地进行线宽测量。向检查区域照射光，取得检查区域的透射光图像的工序；根据所取得的透射光图像，得到检查区域的光强度分布数据的工序；微分处理工序，通过对从光强度分布数据求出的光强度分布曲线进行微分处理，得到包含第1透射控制部和第2透射控制部的边界部分即第1边界、以及第2透射控制部和第3透射控制部的边界部分即第2边界的区域的光强度变化曲线；拟合工序，将得到的光强度变化曲线拟合到模型函数；以及根据拟合的结果求出第2透射控制部的尺寸的工序。

本发明授权图案检查方法、光掩模检查装置、光掩模的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种图案检查方法，检查在透明基板上具有转印用图案的光掩模的所述转印用图案，其中， 所述转印用图案包括检查区域，在该检查区域中，对于曝光用光具有透射率T1的第1透射控制部、对于曝光用光具有透射率T2的第2透射控制部、以及对于曝光用光具有透射率T3的第3透射控制部按照该顺序相邻地排列，其中所述透射率T1、T2、T3分别为百分比，当T1以及T3分别与T2不同、T1与T3相同或不同时，所述图案检查方法包括如下工序： 向所述检查区域照射光，取得所述检查区域的透射光图像的工序； 根据所取得的所述透射光图像，得到所述检查区域的光强度分布数据的工序； 微分处理工序，通过对根据所述光强度分布数据求出的光强度分布曲线进行微分处理，得到包含所述第1透射控制部和所述第2透射控制部的边界部分即第1边界、以及所述第2透射控制部和所述第3透射控制部的边界部分即第2边界的区域的光强度变化曲线； 拟合工序，将得到的所述光强度变化曲线拟合到模型函数；以及 根据所述拟合的结果求出所述第2透射控制部的尺寸的工序。

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